アップデートの方法0[更新済]Title アップデートの方法0[更新済] Created Date 8/5/2019 10:42:25 AM
TIA-nanoの活動報告と 今後の展望 ·...
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・研究分野の方向
・情報の共有と循環
・研究者と研究資源の導入
・国内外産学官の結集による研究遂行(オープンイノベーション)
“異なる文化、メンタリティーの衝突”
経済成長への寄与の推進
戦略的研究開発拠点
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1.日本の常置の研究所大学内の附置研究所
62研究所
大学共同利用研究所
19研究所
独立行政法人
31研究所
その他、公立の研究所(国立研究所)
民間の研究所(企業内の研究所)
2.目的に合せて随時設置大学内の産官学プラットフォーム→センター
日本の研究開発拠点(Center of Excellence)の現状
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大学と附置研究所(62)
独立行政法人 (31)大学共同利用機関法人(19) 文科省
(10)経産省
(3)
AISTNIMS
7 省庁(18)
JSPS, JST NEDO
筑波大学 KEK NIMS AIST
TIA 産業界 (経団連)
日本の国関連の研究機関 (GRIs)
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知財・標準化
共用施設(点の成果を線・面
に)
高等教育と科学技術政策の融合
人材育成実証・評価開発拠点
研究開発拠点ネットワーク
ナノ物質からマクロサイズ製品へ
ナノテクの社会的影響
ナノテク研究の推進方法
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世界のナノテク拠点とTIA
2006年、フランス原子力庁電子情報技術
研究所(CEA-LETI)が中心となり、グル
ノーブル市内に欧州最大のナノテク研究
拠点を形成。
1984年、ベルギー・フランドル地方の自治
体、大学、及び産業界の支援を受け、マイ
クロエレクトロニクス分野の非営利研究機
関として設立。
2001年、ニューヨーク州立大学オルバニー校
のナノ科学工学センターを主体にニューヨーク
州政府とIBMが中核として出資し、ナノテク国
際拠点を形成。
産業技術総合研究所、物質・材料研究機構、筑波
大学が中核となって世界的なナノテク研究拠点形
成を目指し,日本に適したアジアを先導するオープ
ンイノベーションを推進する。
中国-シンガポール蘇州工業園2012.6完成予定敷地100ha、床面積150万平方米
ALBANYALBANY
IMECIMEC
MINATECMINATEC
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TIAnanoTIAnano
蘇州ナノポリス蘇州ナノポリス
拠点形成に向けた基本理念
産学官の共同宣言産学官の共同宣言
つくばナノテクノロジー拠点形成の推進について
21年6月17日(*24年4月1日)
つくばナノテクノロジー拠点運営最高会議
運営最高会議議長
岸
輝
雄
国立大学法人筑波大学学長
山
田
信
博
独立行政法人物質・材料研究機構理事長
潮
田
資
勝
独立行政法人産業技術総合研究所理事長
野
間
口
有
社団法人日本経済団体連合会産業技術委員会共同委員長
中
鉢
良
治
*大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
鈴
木
厚
人
TIA基本理念TIA基本理念
理念1:世界的な価値の創造
理念2:Under One Roof理念3:自立・好循環
理念4:Win-Win連携網
理念5:次世代人材育成 9
TIAの推進TIAの推進
研究テーマ:ナノテク
研究システム:オープンイノベーション
人材育成:オナーズプログラム
経済成長
KEK(高エネルギー加速器研究機構)-つくばキャンパス
フォトンファクトリー
パルスX線の
ための先進リング ワイゼンベルグカメラ
高・エネ研での研究紹介
KEKは自然界に働く法則や物質の基本構造
を探求することにより、人類の知的資産の拡
大に貢献します。そのために素粒子・原子核
に関して、また、生命体を含む物質の構造・
機能に関して高エネルギー加速器を用いた
実験的研究や、理論的研究を推進している。500m
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TIAnano組織図
ナノエレクトロニクスW
G
パワーエレクトロニクスW
G
知財
WG
大学院連携
WG
カーボンナノチューブ・ナ
ノ材料安全評価
WG
ナノグリーンW
G
運営最高会議議長:岸
輝雄
西 スタンフォード大学教授
平山ニューヨーク州立大学教授
西 スタンフォード大学教授
平山
顧 問西
義雄
スタンフォード大学教授平山誠 ニューヨーク州立大学教授
監 事髙柳英明
東京理科大学理事
オブザーバーオブザーバー文部科学省
内閣府経済産業省
委員筑波大,NIMS,AIST,KEK産業界、学会の代表
運営会議議長:中村道治
事務局長:岩田
普
事務局次長筑波大学(神田忠雄)NIMS(中村和夫)AIST(坂本邦博)KEK(篠原新一)経団連(吉村隆)
オブザーバーつくばIC連携会議AIST(秋宗、鈴木)NIMS(渡辺、森)筑波大学(丹羽)KEK(池田、飯田)
Under O
ne Roof W
G
NM
EMS W
G
12
TI A 理
事
会議
研究D会議
産
業
界
ボ
I ド
テンポラリー
EID
EC
(森博士発表資料; “TIA-nano symposium” 2011.11.25)
日本初の世界的コンソシアム
EIDEC:EUVL Infrastructure Development Center, Inc.
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TIA-nano中期計画の目標と進捗
H22年度 H23年度H23年度まで
の累積 中期計画目標値
総事業費(億円) 107 133 669 1,000億円
公的資金割合(%) 96 88 - 2014年度末で70~80%
プロジェクト数 18 - 23 30件以上
連携企業数 59 93 100 300名以上
外部研究者数 468 529 - 1,000名以上
TIA連携大学院生数 15 139 154 500名以上
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知 財 戦 略 (TIA中期計画から)
1.オープン&フレキシブル
・オープンイノベーションの着実な推進とフレキシブルな権利対応。
・各技術研究組合等の既存のルールからスタートし、各研究コアで最適解を検討。
2.インテグレーション&パッケージング
・TIA研究プログラムで産まれた知財情報を蓄積する仕組み。
・個々の知財を組み合わせてパッケージ化してゆく仕組み。
3.サステイナブル&インセンティブ
・サステイナブル(自立・好循環)
・TIAへの積極的な参加・知財蓄積を促すインセンティブの構築。
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・
KEKの参画
・
CNTのサンプル配布
・
TIAの自律的運営に向けた民活型組織TPECの設立
・
ナノグリーンにおける会員制組織の試み
・
つくば大の大学改革プログラム
・パワエレクトロニクス寄付講座の開設準備(H25開
設)
・
NBCIによるTIA見える化とTIAメルマガ発行(H24)
平成23年度TIA-nanoの成果
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主な拠点活用プロジェクト(平成23年度)
17FISRT: 最先端研究開発支援プログラム、METI:経済産業省、MEXT:文部科学省
ナノエレ
FIRST フォトニクス・エレクトロニクス融合システム基盤技術開発
FIRST 省エネルギー・スピントロニクス論理集積回路の研究開発
FIRST グリーン・ナノエレクトロニクスのコア技術開発
METI委託 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト
METI委託 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発
MEXT委託 光ネットワーク超低エネルギー化技術拠点
パワエレFIRST 低炭素社会創成へ向けた炭化珪素(SiC)革新パワーエレク
トロニクスの研究開発
METI委託 低炭素社会を実現する新材料パワー半導体プロジェクト
N-MEMSFIRST マイクロシステム融合研究開発
METI委託 グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト
ナノグリーンMEXT委託 低炭素化材料設計・創製ハブ拠点
MEXT委託 ナノ材料環境化学拠点
CNT ・ナノ安全 METI委託 低炭素社会を実現する超軽量・高強度融合材料プロジェクト
ナノテク大学院 MEXT経費 つくばナノテク拠点産学独連携人材育成プログラム
ナノデバイス実証・評価ファンドリー・プロトタイプデバイス(線幅45-65nm CMOS、N-MEMS等)試作・実証・評価 (φ200-300mm)
・SiCパワーデバイス試作・実証・評価
ナノテク共用施設産総研・NIMS・つくば大学・KEK
の産学官共用研究設備
ナノテク大学院連携筑波大学を幹事校としたオールジャパ
ン体制による次世代人材育成機能
3つのコアインフラ
(※今後、各々のコアは、産学官の連携状況等に基づき拡張し得る。)
6つのコア研究領域/3つのコアインフラ
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ナノ材料安全評価ナノ材料安全に係る
世界的データ集積・評価
N-MEMS高付加価値多品種/量産集積N-MEMS
カーボンナノチューブCNT量産実証と多様な用途材料と
CNTとの融合材料開発
ナノグリーン環境・エネルギー技術の実現に向けた
物質・材料研究のブレークスルー
ナノエレクトロニクス・ナノCMOS・シリコンフォトニクス・カーボンエレクトロニクス・スピントロニクス
・バックエンドデバイス
・新材料・先端リソグラフィ
(EUVL)
6つのコア研究領域
パワーエレクトロニクスSiC基板→デバイス→システムまで
統合的なパワー半導体の研究開発・
実証
オナーズプログラム
:
基礎研究と応用技術の共鳴場
産業技術総合研究所
物質・材料研究機構
民間企業(日立、東芝、ルネサス、東京エレクトロン、パナソ
ニック、シャープ、トヨタ、
アルバック、etc.)
技術
の流
れ
人の流れ
知の
流れ
連携コーディネーター海外
SUNY/AlbanyStanfordMINATECIMEC, etc
課題
解決
最先端設備と人材の提供
最先端設備と課題の提供
独 産
学阪大
名古屋大
東工大東北大、他
筑波大学
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ナノデバイス・実証ファンドリー(AIST)
基本性能を検証できる、世界最高レベルのインフ
ラの提供
世界最大級の4500m2のスーパークリーンルー
ム、最先端の集積デバイス実証評価ラインを
活用し、デバイスのプロトタイプ試作を受託。
産官学、デバイス・材料・装置メーカーの集中
融合拠点
デバイスメーカー、材料メーカー、装置メー
カー、国の研究機関、大学の研究者のマッ
チングを行い、新事業の企画、新たな可能
性検討の場と機会を提供します。(FIRST研究機関:東大、富士通、東北大学)
次世代に向けた新プロジェクトの実施
EUV(極端紫外線)による10nm台の微細化技
術や、0.4V以下で動作するナノ新材料・新構造
など、最先端の研究開発を実施しています。
産総研西事業所スーパークリーンルーム(SCR)20
21インバータへの活用
SiC 単結晶
6つの研究コア;パワーエレクトロニクス
30年以上にわたる一貫したSiC devices 研究
SiCデバイスの実証試作による製品応用加速
6cm
8cm
9cm
3インチSiCウエハ上
のデバイス
4 inches
4 in
ches
(FIRST研究機関:京都大学)
三次元ヘテロ集積化N-MEMS
RF-MEMS
Bio-sensing
Power MEMS
Chemical Sensor
12inch LSI Wafer
6つの研究コア; N-MEMS
N-MEMS製造技術開発の拠点を構築し、デバイス開発・実用化
を支援
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(FIRST研究機関:東北大学)
CNTの特徴
6つの研究コア;カーボンナノチューブ
集中研による産官学一体の研究体制でカーボンナノチューブの実用 化を促進
薄くても丈夫
高電気伝導度半導体への利用の可能性
軽量で柔軟
カーボンナノチューブ
良好な熱伝導度
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産総研で開発した量産技術(スーパーグロース法)で合成されたカーボンナノチューブ構造体
6 Core Research Domains:ナノグリーン
三つのプログラム:
ナノ材料科学拠点 (GREEN)低炭素化材料設計・創成ハブ拠点(Lnet)TIA ナノグリーン
乾式
固体-気体-
光
湿式
固体-液体-
光
観察 シミュレーション
ナノテクノロジー
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環境とエネルギー問題に対応する低炭素社会の実現に貢献
NIMSナノグリーン棟(H23年度竣工)