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Keysight TechnologiesWaferPro Expressソフトウェア自動オンウエハー測定ソフトウェア

02 | Keysight WaferPro Expressソフトウェア - Brochure

テストソフトウェアの統合を簡素化

多くのデバイス評価ラボでは、Perl、Matlab、Labview、C#、Pythonなどのさまざまな言語を使用して、測定器、スイッチマトリクス、プローブステーションを制御するカスタムソフトウェアを開発しています。このような場合、ラボの管理者は、新しいソフトウェア、機能、データ処理などを管理しています。これは便利なソリューションに見えますが、プローバーと測定を統合する際の課題は複雑で、その結果、多くの場合、見えないコストが生じます。このプロセスには数か月かかることがありますが、その時間は、デバイス、回路、システムの最適化に費やすべきです。今日では、より困難で専門的な測定に対応できるように、測定ルーチンが内蔵され、柔軟で高度なプログラミング環境と組み合わせられたソリューションが必要です。

WaferPro Expressは、測定の自動化、ウエハープローバー制御、すぐにモデリングできるデータにより、このようなソリューションを実現しています。さらに、テストプランを容易にラボ全体に拡張できます。WaferPro Expressは、複雑なソフトウェアの統合が不要な一体型の測定プラットフォームを提供します。エンジニアはこれを使用して半導体デバイスのウエハーレベル測定が容易に行えます。最新の直観的なユーザーインタフェースにより、必要なセットアップ手順が減少して時間と費用の両方を節約できます。

主な機能

– 使いやすい最新のインタフェースにより、自動測定を簡素化できます。 – ウエハー温度とプローバーチャック位置を自動的に制御できます。 – 半導体デバイス用の豊富なライブラリにアクセスして、Sパラメータ、DC-IV、CV、雑音指数、1/fノイズ、利得圧縮などの測定をすぐに実行できます。

– 非常に効率的なターンキードライバーにより、新しいテストの開発時間を短縮できます。 – PythonまたはPELを使用してカスタムのドライバー／テストをデザイン／実装できます。測定データはASCIIファイルまたはSQLデータベースフォーマットで保存できます。

– Cascade Microtech社やその他のメーカーのウエハープローバーに高度に最適化されたドライバーを利用できます。 – ウエハー・データ・マッピング・ビュワーを使用して、ウエハー全体のデータを表示できます。 – Keysight IC-CAP、MBPなどのモデリングプラットフォームにデータを容易にエクスポートできます。

Cascade社ソフトウェア

キーサイト測定器


機能概要

WaferPro Expressは、高度な機能と柔軟性が追加された使いやすいテストエグゼクティブを提供します。これを使用して、解析やデータ表示をカスタマイズできます。以下のように、新しいテストシーケンスを開発するための内蔵機能／ルーチンを利用して、時間と費用を節約できます。

テストプランを使用して、測定対象デバイス、測定ルーチン、ウエハー位置をシーケンスに記述することができます。

ウエハー全体のスカラー（「スポット」）データがヒートマップとして提供されます。

DCデータのマルチプロット・データ・ビュワー。測定ルーチンに基づいてプロットが構成されます。


製品構成

WaferPro Expressは、3種類の構成（バンドル）で提供されています。W8580BP WaferPro Express Coreバンドルは、測定器ドライバーとプローバードライバーを使用してテストプランを統合するためのフル機能のバンドルです。W8581BP WaferPro Express Core and Programmingバンドルには、PythonおよびPELプログラミング環境を使用してテストの高度なカスタマイズを行う機能が追加されています。また、被試験デバイスのモデルカードまたはSpice3サブ回路が提供される場合は、テストのドライランをシミュレートできます。W8580BPでは、W8581BPバンドルを使用して、例えばPythonまたはPELプログラミング環境で作成したルーチンやテストプランを実行できます。ただし、プログラムルーチンの編集は基本バンドルではできません。Cascade Microtech社以外のプローバーはW8585EPオプションにより使用できます。WaferPro Express Core and Programmingバンドルは、A-LFNAの購入時に付属します。

W8580BP WaferProExpress Coreバンドル

– DC/C-V/RF/タイムドメイン測定およびテストプラン – GPIB測定器インタフェース／ドライバー

– ウエハーマッピングによるデータ表示 – テスト構成およびセットアップ

– Cascade Microtech社のサポート – SQLデータベースのサポート

W8581BP WaferPro Express

このパッケージは、Coreバンドルのすべての機能の他に、以下のプログラミング

パッケージを提供します。

– Python/PELプログラミング – SPICE3による仮想テストプランシミュレーション

E4727P3 WaferPro Express

このパッケージは、Core and Programmingバンドルのすべての機能の他に、A-LFNAの制御が追加されます。

W8511BP IC-CAP WaferProこのパッケージはCore and

Programmingバンドルのすべての機能の他に、以下の機能を追加します。

– すべてのIC-CAP環境とモデリング、最適化、チューニング機能

– W8585EPにより、Cascade社以外のプローバーがサポートされます。

– キーサイトのパラメトリックテスターの制御

– SPICE3およびADSによる仮想テストプランのシミュレーション


Advanced Low-Frequency Noise Analyzer(A-LFNA)

E4727A Advanced Low-Frequency Noise Analyzer(A-LFNA)を使用すれば、さまざまなタイプのデバイスの低周波ノイズが高速かつ正確に測定できます。WaferPro Expressとの緊密な統合により、ウエハープローバーを自動制御しながら、DC、キャパシタンス、RF Sパラメータの高速測定を含む広範囲の測定にノイズ測定を追加できるようになりました。オンウエハーとディスクリートの両方のデバイス／回路測定用に設計され、低周波ノイズおよびランダム・テレグラフ・ノイズの測定に最適なツールです。

WaferPro Expressツールは、通常の起動以外に、「A-LFNAモード」での起動も可能です。さまざまなデバイスタイプ用にカスタマイズされた各モードのルーチンが工場で定義されています。

– 通常のWaferPro Expressでは、デバイスタイプはMOSFET、FET、BJT、HEMTなどです。

– A-LFNAモードでは、デバイスタイプに端子数が反映されます（例：

FET_3T、FET_4Tなど）。


サポートされるCascade Microtechプローバーおよびソフトウェア

表1.　W8580BPおよびW8581BPに含まれるサポートされるCascade Microtechプローバーソフトウェア

ProberBenchソフトウェア Nucleusソフトウェア Velox 2.0ソフトウェアPA200 Summit Summit 12000

PA300 S300 Elite300

Elite 300 CM300（半自動のみ）PA200

PA300

BlueRay

さまざまな測定器とプローブステーションの統合はかなり複雑になります。その原因は、さまざまなコンポーネント間に生じる多くの相互作用です。外部の干渉源により、測定器の結果が不正確になります。このような課題を解決するには、すべてのコンポーネントが含まれ、検証済みの機器で構成された包括的なソリューションが必要です。測定器、プローブ、プローブステーションが異なるメーカーから個別に供給される場合は、最終的に構成されたテストセルが特定の測定の課題に十分に対応できない場合があります。メーカー同士が協調していない場合は、納品／設置された時にすべてが一貫して動作するかどうかが疑わしくなります。ウエハーマッピングやダイ間の移動のためには、測定とプローブの両方を制御するソフトウェアが必要になります。多くの評価／研究開発エンジニアは、最初のデータ取得までの時間と市場投入までの時間に基づいて評価されます。検証済みの構成がない場合は、動作するソリューションを構成するのに数週間または数か月かかる可能性があります。

Cascade社とキーサイトは、このようなニーズに対応するように、納品前にシステムを構成しています。ウエハーレベル測定ソリューション(WMS)のエキスパートチームがお客様と協調してシステムを最適化します。Cascade社およびキーサイトのアプリケーションエンジニアがプローブステーションと測定システムの設置／検証を行って、最初の測定までの時間を最短にし、複数の場所での相関を検証します。ウエハーレベル測定ソリューションは、ソリューションが動作することとコンポーネントに不足のないことが保証されている構成です。さらにトレーニングも提供されているので、システム全体で最高の操作性と性能を確実に実現できます。

温度制御付きプローバー

LAN

キーサイトの測定器

WaferPro-XP （WindowsまたはLinux）

GPIBバス

プローバーバス

ソフトウェア(Win PC)

Velox 2.0Nucleus

ProberBenchWinCal


サポートされるスイッチマトリクス

多くのモデリング／特性評価グループで重要になるテストプランの仕様は、プローバーがウエハーに対して行うタッチダウン回数です。例えば、1回のタッチダウンで4個のデバイスを測定するには、ソース／メジャメントユニット(SMU)とプローブカードにスイッチマトリクスを組み合わせて、各デバイスで同じ測定シーケンスを実行する方法が考えられます。また、8個のデバイスの複製が1つのパッケージに搭載されている場合、スイッチマトリクスとテストフィクスチャを組み合わせてパッケージ内の各デバイスでSMU測定を実行する方法が考えられます。

– Keysight B2200A fA低リーク・スイッチ・メインフレーム – Keysight B2201A 14ch低リーク・スイッチ・メインフレーム – Keysight E5250A低リーク・スイッチ・メインフレーム – Keithley 700シリーズ半導体スイッチング・システム

* デバイスに対して、通常接続とケルビン接続の両方が可能です。

W8585EP拡張プローバーサポート

Cascade社以外のプローバーユーザー向けに、W8585EP拡張プローバー・サポート・アドオンでは、Accretech UF-3000や東京エレクトロン P8完全自動プローバーなどのプローバーメーカーをリストに追加できます。W8581BP Core Measurement and Programmingバンドルと組み合わせれば、新しいプローバードライバーを追加して、現在はサポートされていないGPIB制御プローバーを使用することができます。またプログラミング環境では、「ウエハーにプローブを接触させる」、「ウエハーからプローブを離す」、「ホームポジションに移動させる」、「選択したダイに移動させる」などの基本的なドライバー機能セットを実装し、WaferPro Expressにより新しいプローバーを制御できます。以下は、現在サポートされているプローバーのリストです。

– Micromanipulator P300A

– Accretech UF-3000

– 東京エレクトロン社(TEL) P8-P12

– ベクターセミコン社 TS2000/TS3000プローブシステムおよびSENTIOソフトウェア – Electroglass Inc. EG6000

必要なプローバーが上のリストにない場合は、W8585EPプラットフォームを使用してユーザーがカスタム・プローバー・ドライバーを追加できます。

サポートされる温度コントローラー

以下のリストに加えて、追加の温度コントローラードライバーをプログラミングによって実装できます。 – Cascade Microtech Summit

– Cascade Microtech PS21

– Temptronics TP032A


WaferPro Expressは、非常に困難なテスト要件にも対応できるように、さまざまな測定器をサポートしています。

表2.　サポートされる測定器ドライバー

サポートされる測定器LCRZ測定ドライバー Keysight E4990A インピーダンス・アナライザ

Keysight E4991A インピーダンス／材料アナライザKeysight E4980A プレシジョンLCRメータKeysight 4194 インピーダンス・アナライザ 1

Keysight 4271 1 MHzデジタル・キャパシタンス・メータ 1

Keysight 4275 マルチ周波数LCRメータ 1

Keysight 4280 1 MHzキャパシタンスメータ 1

Keysight 4284 プレシジョンLCRメータKeysight 4285 プレシジョンLCRメータKeysight 4294A プレシジョンLCRメータ

DC測定ドライバー Keysight B1500A 半導体デバイス・アナライザKeysight B1505A パワーデバイス・アナライザ／カーブトレーサーKeysight E5260シリーズパラメトリック測定ソリューションKeysight E5270シリーズ：E5270B、E5272A、E5273A

Keysight B2900シリーズプレシジョン・ソース／メジャー・ユニットKeysight N6705 DC電源／アナライザKeysight 4140 pAメータ/DC電圧源 1

Keysight 4141 DC電源／モニター 1

Keysight 4142x モジュラー DC電源／モニターKeysight 4145x 半導体パラメータ・アナライザ 1

Keysight 4155x 半導体パラメータ・アナライザKeysight 4156x 半導体パラメータ・アナライザKeithley 2400シリーズ・ソースメータKeithley 2600シリーズ・ソースメータKeithley 4200-SCS型半導体特性評価システム

AC測定ドライバー Keysight PNAシリーズネットワーク・アナライザ：E8356A、E8357A、E8358A

Keysight PNA-Xシリーズマイクロ波ネットワーク・アナライザ（Sパラメータ、利得圧縮、相互変調、雑音指数）Keysight ENAシリーズネットワーク・アナライザ：E5071C、E5061B

Keysight N5250A PNAミリ波ネットワーク・アナライザ、10 MHz～ 110 GHz

Keysight 3577 ネットワーク・アナライザ 1

Keysight 8510 ネットワーク・アナライザKeysight 8702 ネットワーク・アナライザ 1

Keysight 8719 ネットワーク・アナライザKeysight 8720 ネットワーク・アナライザKeysight 8722 ネットワーク・アナライザKeysight 8753 ネットワーク・アナライザAnritsu VectorStar ネットワーク・アナライザ（Windowsのみ）Anritsu 37000 ネットワーク・アナライザ（Windowsのみ）Wiltron 360 ネットワーク・アナライザ

タイムドメイン測定ドライバー Keysight InfiniiumオシロスコープKeysight 54121T-54124T デジタイジングオシロスコープ 1

Keysight 54510 デジタイジングオシロスコープ 1

Keysight 54750 TDRオシロスコープ 1

雑音測定ドライバー Keysight 35670A ダイナミック・シグナル・アナライザKeysight E4727A 高性能低周波ノイズ・アナライザ

1. 販売完了製品。

サポートされる測定ドライバー


表3.　サポートされるGPIBインタフェース

LINUX：

概要パーツ番号Linux OSワークステーションでサポートされるGPIBインタフェースTAMS L488 GPIB/LANインタフェース L488

L488-POE1TAMS IOライブラリ

Keysight LAN/GPIBゲートウェイインタフェースTAMS IOライブラリ

E5810A 1

82091

TAMS高速PCI GPIBおよびTAMS IOライブラリTAMS IOライブラリのみ

8148882091

TAMS PCIおよびTAMS IOライブラリTAMS IOライブラリ

8048882091

TAMS USB GPIBおよびTAMS IOライブラリTAMS IOライブラリのみ

8348882091

National Instruments USB-GPIB-HSカード＋NI 488.2ソフトウェア 779705-01

National Instruments PCI-GPIBカード＋NI 488.2ソフトウェア 778686-01

National Instruments PCIe-GPIBカード＋NI 488.2ソフトウェア 779779-01

1. 販売完了製品。

Windows：

概要パーツ番号TAMS L488 GPIB/LANインタフェースおよびKeysight IOライブラリバージョン14.2 L488

L488-POE1

Keysight GPIB PCIカードおよびKeysight IOライブラリ 82350A 1/B

Keysight LAN/GPIBゲートウェイインタフェースおよびKeysight IOライブラリ E5810A 2

Keysight USB/GPIBコンバーターおよびKeysight IOライブラリ 82357A 1/B

National Instruments PCMCIA-GPIBカード＋NI -488.2Mドライバー 778034

National Instruments PCI-GPIBカード＋NI -488.2ドライバー 778032

1. 販売完了製品。2. LANインタフェースは通常GPIBカードに比べて速度が落ちます。

サポートされるGPIBインタフェース

ライセンスされるソフトウェア

各WaferPro Expressモジュールは、2つのライセンスバージョンで提供されています。

ノード・ロック・バージョンでは、1台のワークステーションまたはPCでのみソフトウェアを実行できます。ネットワーク・ライセンス・バージョンでは、ネットワーク上の複数のワークステーションまたはPCでソフトウェアを実行でき、複数の作業グループでソフトウェアを共有できます。E4727P3はフローティングライセンスとしてのみ使用できます。

どちらのライセンスも、FLEXlmライセンス管理システムを使用しています。これら2つのライセンスオプションは、自由に組み合わせることができます。例えば、測定器ドライバーパッケージのノード・ロック・バージョンをラボのワークステーションまたはPCで使用し、解析モジュールのネットワークライセンスをデータ解析のためにエンジニアのグループで共有できます。

受付時間 9：00-18：00 （土・日・祭日を除く）

[email protected]

TELFAX

キーサイト・テクノロジー合同会社

0120-421-345 (042-656-7832)0120-421-678 (042-656-7840)

本社〒192-8550 東京都八王子市高倉町9-1

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© Keysight Technologies, 2014 - 2017Published in Japan, February 22, 20175991-4460JAJP0000-00DEPwww.keysight.co.jp


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