Intrinsic Defects and the D1 to D4 Optical Bands Detected in Plastically Deformed Si
Transcript of Intrinsic Defects and the D1 to D4 Optical Bands Detected in Plastically Deformed Si
![Page 1: Intrinsic Defects and the D1 to D4 Optical Bands Detected in Plastically Deformed Si](https://reader036.fdocuments.us/reader036/viewer/2022080304/575001861a28ab11488e91f7/html5/thumbnails/1.jpg)
����� ����� ��� �� ��� ��� �����
������� �������������� ��������� ��� �!�� � ���� ��
��������� ���� �� �� � �� � ������� ��� � ��� �� ����������� ���� ��
�� ����� �� �� �� ���� �� �� �� ��� �� �� ����� �� ��" �� �� ������� ��
��� �������� �� ������� ��������� �� ������� ������� ��� ���� ��
��� �������� �� ����������� ��������� �� �� ��!� �� ��! "#$%&'%� "(�)�
��� �������� �� ������� *�� ��������� �� +�(���� � ��� *���+�(���� � ��� *��� +�& %,�� ��
#����$�" !�%� � �����
&�"�����" �� '%������% &%� (��)��) ���%�* ��% �� ��� �������� �� ��� � �� ����$�%��%�
+�� �%���%���� �� ,���-$������ ��" ,���-����%������ "������ ���� ������� �,�������� ���"��%���" � �. �%� %�$��/�"� '%�,����� �,��) ����� �%� ��� ��0�$������ ��" �%�- ��" ���%�-���-����%������ "������� 1� �� ��))����" ���� ��� ��%,����� �� ����� "������ �� "��������� ��%�� ���"��" �� ��� &� �� &2 ������,�������� ���"� ��3�" �� "���������� �� �� ��" ��4��
�� ����� ������
+�� �%�)�� �� ��� ������,�������� ���"� &� �� &2 �� ����� ����� ��5� ��" ��� �.��������" /��� "���������� �� ������ ��� ���� � ,���% �%���, �$�� ����% �,��� �6��%��% �� �����%� �� ��$����)����� 7�8� +�� %����� ����%$������ 7�8 �� %��, ��,��%�-��%� ����%�-�,��������� �%�, &� ��" &� ��� ���%%�" ��%���% ����$���� 9��� �0��%�-,���� ��$� ���� ��%%��" ��� ��" ,�"�� �"$����" ��� ���� ��� ���� ���$�%����������" "�� �� �� �,� /�� �� ��� "�������� �� �"��������) ����� "������ �����%�" ����� "��������� ��%�� 1� "��� ���, �3�� ���� ��� %������%����" ��%�� ��$��%�" ������%� 7�8 ������ ��" �� ������ �%��������� �� �/ �� �%���" ��� �.� +��� ,�"������" �� )����%�" �,��%����� �3� �%�������� ,���� 728 �0�)�� 7 8 �% ���%����� "�������3� 3��3� ��" ��)� 7�8 ��$� ���� �%�����"� +�� �%�$����� �� ��� ���"� :: ���� ��;< ��" =< �-�� ��" �-�� �� /� �� ��4� :: )�$�� "���� ���� �,��%����� �%� ������ �%��������� /��� 3��3 ��" ��) "�������� �%� �������$� �� �������) ���"������� 1�����"/� �%����� ��%� ���� ,���$������ ��">�% ���-����%������ �����%� �%����" �� ��� ��%�,�� �� %���������� ?� ���%�� ���� "������ ,�� �%��� �%�, �0�)�� �%����������� �%�%�, ��� )%�/�� �� �%�������� ,��� ������� ��" ��� �%�)�� �� ��� �,��������� ��,��"��)����"�+��� ���������� ��� )%�/� ��� �� %����� ��$����)������ ���� ������� ����$� ,���-
����%������ ��" ,���-$������ ���� )������ �� ��� ?�% ��������� �� ���� ���%� �%� �,��))%�)���� ����� �� �� �= /���� �%� ������� ����$� )�$��) �,�������� ��" ����%�-���� ���"� �%���" � �. ��" ����� %����� �"$���� ����%�� ��� ���������� ���� ��� &���"� �%� "�� �� ��,��% $������ ��" ����%������ �����%� �%����" �� ��� "�����������%��
�� ����� �� ��� 1��%����� &������ ��" ?����� @��"� �� &���%,�" �� ���
![Page 2: Intrinsic Defects and the D1 to D4 Optical Bands Detected in Plastically Deformed Si](https://reader036.fdocuments.us/reader036/viewer/2022080304/575001861a28ab11488e91f7/html5/thumbnails/2.jpg)
�� �� ����������
?�% ��$����)������ ��)�� �� �������) ��� ����%��� �%���%���� �� ��� ��0�$������ �� ���+�� �"�� ��%, �� ���� "����� �������� �3� ����% $������ ����%�� "��)��) ���"� /������$� � ���"���� �� %������%��� �� ���%�� +�� ���� 3��/� �0�,�� �� ��� "�$������/��%� ���% �� ��� "��)��) ���"� �%� ���%�" ���"��) � "����� /��� =�� ��,,��%� ��"/���� ����%��� ����$��� �%)�� �,������ �%�, ��� �/� %�,�����) �� "��)��) ���"����) �� ��� ,�%%�% ���� 7�8� +���� "��)��) ���"� )�$� �������% �$�� �>�� ��" A>���� �� � ��2� ��" �� � ���� �. %�������$��� +��%� �� ��� � "���% �$� �� �$ � ���5 �.�+�� .�
� "����� �� ������� ����$� ��" �� ����%����� ���" �� ����" �� ���2 �. "�� ���%��������� ���/��� ����%�� ������ 7�8� +��%� �%� �� �,��������� �%��������� �%���"� �.� ;�%���% ���%� ��� ���� �� �,��������� ���"� �� ��% 3��/�")� ��%%����" /���.� .2 ��" . � 1� � ����� "������ �� �� ��� ������� �� ���% �� � ��� "��)��) ���"���" ���� � ��$� "��� )��-�$��� ���� �$�� ��� �%�� ��%%��%� ��" �� ���� ��� " A �>����%)�" "������ ��� �� "������" �� ����%�� ��%�,�)����� %�������� B'#�� +���� $�-����� "������ ,�� ���� �� ���-%�"����$� ����%�� ��" %�,��� �� /��� �%����" �� � "��-������� ��%�� !���%"��)� ���� �%� ���3�� �� �� %��������� ��% ��� & ������ �����=����"�% ��/ ��/�$�% .�� +��� ���� �� ��� ��%�� $������ "����� /���� ���" �,�-
����� �� ��� � �. %�)���� +��� ��� ��0 "��)��) ���"� ���$� ��" ��0 ���/ ��� ��0�)���� %�,�$�" �� ���,� ��� ;�)� ��� 1� ���� ���� � ��� ���"� ��� �� ���%�" �� ��" �"����� ,�"� /���� ����%���� ����$��� �� ,���,� 75:��8� +�� %������%������ �� ��,-,��%�� ��" ��� %������) ��,,��%� �� ��� ����%� �� &�"� +��� %������%������ �� �� ���%����,��% �� ���� ����%%��) �� � "��������� ��%��C�/ ��� 6������� �%���� �� �� ��� ����%��� ����$���% �� ��� ��0�$������� +��� ���
��/ ���� ���/�%�" ��� �� �� ��"�%��� /�� 7��8� 1� ��� ���� ����" ���� ����%�� �%%�-"����" �� ���������) ����� �,�� �� ��"%�)�� ���"� � ��,��% �� ������,�������� ������3�" �� ��"%�)�� 7��8� 1�"��" ����� ���� ����� �� ,�0��%�� �� ��"%�)�� ��" "����%��,�%�$��) ���� ����� ���,� �%� ��%� �� ��� ������ ����%� �� ��� "������ 9�%��$�% ��������� �� ��� ���� "�,����%��� ���� ��� �� ����� ����%�� @2� �������� �/� �6��$���� D���,�� (��� �� ��� �%�)�� �� ���� ���E=�%��� �������) ���"��� "�,����%��� ���� �� ����%�� �%%�"����" ,���%�� � �,����-
����� ���" �� ����� �. ���" ��� �-��� ����%� �� � ��,��%���%� %��)� �� �� �����2 � �= /��� ,���$������ "������ ����"��) ��% �0�,�� . �%� 3��/� �� ����%� +�������%� �� ����$�" �� �� ���%����� �� ��� �%�"������ ���%����� /��� �%%�"������ /����������%������ +�� "����� ��� �� ��)��" ��"�% ��%��� �� � ��,��% ,����% �� ��� "�$��������))�����) �� �� � ,���-$������ ����%�� 9�%��$�% ��� �-����%� �� ��� ��%,�" /��� ��-
��2 �� ����� �� ��
;�)� �� 1"�� ��" %������%����" ��0�$�-����� "������� +�� �%�����%��� ����%�� %�-�%����� ��� $������ �����
![Page 3: Intrinsic Defects and the D1 to D4 Optical Bands Detected in Plastically Deformed Si](https://reader036.fdocuments.us/reader036/viewer/2022080304/575001861a28ab11488e91f7/html5/thumbnails/3.jpg)
"%�)�� �� �%����� ��� ��� ����% D-%����" 'F ����%�� �%� ���� "������"� 1� ���,� �������� ��"%�)�� �� %������) /��� ��� �-����%� ��"��) �� ��� ��"%�)�� %����" "�������! ���"� �� ��� ������ �� � ,�)����� ���" �� ��� �-��� ��� ���/� ���� ��� "����� ��
�%�)��� 7��8� C�/ � ���% �� �-���� �� ���,� ��� ��� �� �""�" �� � �%�)��� ����%� ����� "����� ��������� ��%���% ��,,��%��� ���� �� ��$�%����� +�� �������$� ��,,��%� ����� �-����%� �� ���� &�" ��" ���� �� ��� ��� ��,,��%� �� ��� ��0�$������� C� ����%���-��� "����� ��� ���� �����%����" /���� ��� ���� ��,,��%� ��" /� �����"� ���� ����-��� �� "�� �� ��� ��0�$������� +�� ���������� 7��8 /� ��$� ��%%��" ��� �����%� ���$��/ ���� � ��%��) %������%������ ����%� ���/��� ��� �/�$� "��)��) ���"� �� .� ��"���� ��� ������ �%��������� �� ��� $������� �� ��� ���" )�� �%� ��������1� ��,,�%� ��� ��0�$������ �� ��� ��� $������ �))%�)��� 3��/� �� �� �������
����$� �� ��� � �. %�)��� ��� �� ���%�� ���%� �%� ,��� ����%������ "������ 3��/� ���,��������� �� ���� ���%)� %�)����
� ����������� !������
;%�, � ����%����� $��/����� �������) ��� ��%����%� �� ���-����%������ �����%� ��� ����� ��)�� ������ �%��� +��%� �%� ,��� ����%� "����) /��� ������� ��%����%�� ��� %�)%��-���� ���%� ��� ���� ��/ ��%���� ����,��� �� �%� �� %���� ��� ����%�� �� ����%$�" "�-������ D�%� /� �"��� � "����%��� ��%���)��9��� /�%3�%� /��" �)%�� ���� �� ����%������ "����� /���� "��)��) ���"� ��� ��
%������%����" /��" �� ��%�����%� ������ +��� �� ��� ���� ��% ��� ���%�-����%������ 12"����� ���� ��� �� ���% 7���8 ����-����%������� 7�� �2 � 8�+�� ����-����%������ ���/� �� ;�)� � ��� �/� �%���)��� �-�%����� /���� ��� �� ���-
��"�%�" �� "��)��) ���"�� +���� %��"�� %���� /��� ����% "������� 1�"��" �� �� /� 3��/���� ��� ����%������ ��,��0�� /��� ��"%�)�� ���"��) � �����$� "����� 1D� 7��8� +��� �$�� �� ��� ����%� ����%������ 1� ��" � "����%��� ��%����%� �� �� ���% ���� 1D� �� � ��%-��%��" 7���8 ����-����%������ ����%���" /��� D� C�/ �� /� �%��) ��)����% �/� ���)����%-��) ����-����%������ "������ �� �� ;�)� � ���� ��� ���% �� "��)��) ���"� ��� �� %����-��%����"� +�� %������%����" ���" �%�")�� ��� �/� ����-����%������� ���) 7���8�
1��%����� &������ ��" ?����� @��"� &������" �� '������� &���%,�" �� ��
;�)� � ;�)� �
;�)� �� ����,���� �� ��� 7���8 ����-����%������� !�� ��"�����" �%� ��� �/� �-�%����� ���������" /������ ��%����"-���%"�����" ���,�
;�)� �� +�� %������%����" ���-����%������ ���%� +��� ��,��0 ��� ��������� �/� ��%����" ���%"�-����" ���,� /��� �-�%�����
![Page 4: Intrinsic Defects and the D1 to D4 Optical Bands Detected in Plastically Deformed Si](https://reader036.fdocuments.us/reader036/viewer/2022080304/575001861a28ab11488e91f7/html5/thumbnails/4.jpg)
(� ��/ ���/ ��� ����% ���% �� "��)��) ���"� ���)7����8 ��� ��� �� ��,�����"� ������� /� �%��) �� ��-����% "�-����%������ �� � ���)����%��) ���� ����� +����3� ��� ��%�� /� ������� �/� "��)��) ���"� ��" ���%������%����" ���"� @�� �����) ���, ��0� �� ��������% ���� ��/� �� �� ���% �� ��� ���% "��)��) ���"���)��" ���) 7����8� ��%,��) ���)����% ���% %����-��%����" ���"� ��%�� �� ����� �� ���/� �� ;�)� 2� ����� "����� ��� ���� ��))����" �� !%�� �� �� 7�28 �� � �/���%)� ����%������ �����% �� ��� D�/�$�% ��� ��,� "�-
���� ��� ���� ��))����" ,��� ��,�� ��" ��� ��%���� %���%���� /� �%� �/�%� �� �� "���� D�,�� 7��8 /�� �%)��" �� �� � ���"��) ���3 ��% �� �0���"�" "����� �� "��,��"���" ��� ������� 9��� ��" +�3�"� 7��8 ��$� ��))����" ���� �� �0���"�" ���� ����%-������ ������� �� 4� ��� ��� ��,� ��%����%��1� �� ���% ���� ��� �������� �� ��� "����� �%���� �%�, ��� ��,������� �� "��)��)
���"� ��" ���� %����� � �%���� 6�������� 1� ���%� �%� �� "��)��) ���"� �� ��� 12 "����� ���� ��%�� �3� %������%����" ��%���� ���%� /� �� �� )�� ������ ��" ��� "����� /� ������%���� ,�)������� ��" ������� ���%�� D�/�$�% ��% ���������� 7� 8 ���/ ������� "����� �� ��� ���%� ��" ��� � "��� "���% �$� �� ��� �/�% ��� �� ��� ���" )���+�� 6������� ��/ �%���� �� /�� ����" ���� ����%�+� ���/�% ���� �� �� �����"�% � ��)�� ���"��) ,�"� /��%� �� ���,�� �%���� ��
�����" �� ���)����%��) �%����� �� � ������ �� ���%"������� .� 1� ��� D�,������� ,�-�%�0 ��,���� ���/��� ���)����%��) ������) ���,� �� / ���� �� �� ���� �� ���/ ���%� ��� ���" �� ������ ��%������) �%�, �. �/� �� . �/�� C�/ �,�)��� �� ����%������ "����� ��-��%��" �� ��� ,�""� �� ��� ������ ��� ��$��) ��� ��,� ���%"������� �� ��� ��3 ���,��+���� ���"� /� �� ��,�%����" ��" �����6����� ��� ,�)����"� �� �/� /� �� �������%����" �� � �����% ��� �� � � 1� ��� �� ���/� ���� ��� %��)� ��% ��� ���%)� ��)��$�-��� �� ��/ ���%����" �� �.� �/� �� .� �/�� +��� /� �0���� ������ �� ,�$� ��� �� ���$����� ���" ���� ��� )�� �%����) �%�, ����� ��%��)�����" ���"�� +�� ��,� ����������� %�����" �� ��� ������ �� ��� ����%������ �� �� ���� ���%���� ��� ���%"������� .� 1� ����/�� /� ��� ��%���"� ��%��$�� ���� ����%������ "������ ��� )�$� %��� �� ������ �� ����/�% ��� �� ��� )�� ���� �� �$� ?� ���%�� ���%� �%� ,��� ��%,� ��� �����"�%�" ������ ��,�� ��)�� ���"��) D�,�������� +��%� /� �� ����)�� �� ���" ��)�� ��" �� ���"��)��� ,��%�0 ��,���� ��" ����� /� ��� ����� � ����� �� ��� "����� �$��� C�$�%-������ ��� ���� ���������� /� ��� "� �� �� ��� �� �� ������ "������ ��������� ,����"�� "�"��� ��� ��%����%� �� ��� "����� ��" ���� �� �$����� ��� ���������� ���%)�� +��� ����� ���%)� �������%� �� %�,�$� �� ����%�� �%�, ��� "������$� �%����� ?�% �������������/�" ���� ���� �� �,��� ��� ��,� �� ��� ���������� ���%)� �� ��� ����%������ ��%���"����� =�� +��� /� �����"� 7�58 ���� ��� "����� ,��� ��$� � ��,��% "���% �$� �� =�
/���� �� 3��/� �%�, "��� �$� �%������� �����%������ &F+�� ���"��� �� �� ���$ � ���� �.� +�� �,�������� �� ���� 12 �� �-�� ����" �� �%����� �� �� ������" �������1�2 ��" ���� B'# ����$�� (� ��/ ��3 /�����% �� B'# ��)�� ��� ���� ����" /����%���%���� �0�����" �� 12�
��� �� ����� �� ��
;�)� 2� ����,���� �� ��� ��� %������%����" 12 "�����
![Page 5: Intrinsic Defects and the D1 to D4 Optical Bands Detected in Plastically Deformed Si](https://reader036.fdocuments.us/reader036/viewer/2022080304/575001861a28ab11488e91f7/html5/thumbnails/5.jpg)
+�� @� B'# ����%� " A �>�� ��� ���� ��$����)���" �� @%�/�% 7��8� +��� ����%� ��"������" �� ����%�� �%%�"����" �-���� ;<-�� ������" ���/��� ��� �� �� �=� 1� ���-������ &�" ��,,��%� ��� ��,� �� 12� +�� "����� �� ���%� $�%� ����� ��" ��� %����" ���0�)�� �% ��%��� �� ���� �,�� @� ����%�� ��� �� ��%,�" /� ���$� ��� �������%�������� ����� ��,����� @%�/�% ,�3�� ��� ����� ���� ��� ������ ��,,��%� �� ��� ��� %������ ,������ �$�%�)��) �� �� � ����-+��% "����%���� �� � $������ ����%� ��� %����% �����,,��%� �� ���%������ D���%���� ����%������� �� �/� ���,� ���) ��� �%������ 7���8 �0����$� ���� %���$�"� +��� �,���� ���� ��� ��%� �� ��� "����� �� �,��� ��% ����%/�������%������ /��� � ���6�� ���, /��" ��$� ���� "������"� ?� ���%�� � ����� �%���%-���� �%� �0�����" �� 12 �����)� �� ���� @%�/�% ��))���� ���� ��� "����� �� � "�-����%���-���� +�� "���% �$� ��� ���� ����" �� �$ � ���5 �. �� 9�3����$ �� �� 7��8 /������" � ��%%������ ���/��� @� ��" ��� �$ � ���5 �. �$� "������" �� &F+�� +����)%��� %�,�%3��� /� /��� ��% ����,��� �� ��� "���% �$��+��� ��� �%���%���� �� @� �%� ����%�� �� �)%��,��� /��� ��� ����������� @�� �� ���
"����� ������� ����$�E (� ����$� ���%� �� � ��3 /��� � �%�,����� ������ ����%� ���"1� �% G ����5� �.�� +�� �������� 1� �� ����%������ ��" ,�� �� ��������) /��� ��� �%�-����%������ 1� ��" �� /� ��� %���% �� ��� ������ ����%� �� G�+�� ������ �� �������) �%%�"����" �% �,�����" �� ��" ���/��) ��� �$������ ��
������,�������� 'F� ����%�� �� ����%����$�� +�%����,� �� �� 7��8 �,�����" =H-�� /��� '��" @ ���� ��" �����6����� ������" ��� ��,��� ���/��� ��� ��" ��� �=� !� ��� �= ���%��) 'F ��� ���" 1� �% ( �� ����� �. /�� "������"� 1�� ��������� %����$� �� @-%����"����" �0����� ��%�� ���%����" ���� ����� ��� �= ��" ���� "��%����" ��" ��� ��� "����-���%�" �� �� �=� !� ��� ( ��)�� "�,������" ��� ��������� �� ��� G-��� ���%����"� +���/�� ��� �%����� �� ��� �= ��� ����,� ����%��� �� ��� �= ��" ��� ��������� ���%����"���� ����� �%���" 2 � �=� 1� �����6����� "��%����" ��" $������" �� ��� �=� +���� �/����� "�,�����" ��� �����%�, ��� ���%� /�%� ��� ������� ���"� "�� �� 1� �� ����� �. ::� �%�)��� "����� ���������) �/� @ ���,� 7��8 :: ��" � ��� �� ���5� �.� 1���%�����)� �������) �� �� ��,�����%� ���������) =� �" � ��,��% �����%�, ��� �� �""������ ���"�� ��55� �. /�� "������" /���� "�������%�" �%���" � �=� ��,��% %����� /�%� %�-��%��" �� !/�"�3�3�%�, �� �� 7��8� D�%� ���� =H-�� ��" ;<-�� /�%� �,�����" /��� =��" ? ��" ������" �� �� �=� @���"�� ��� /� 3��/� ��%��� ��" �0�)�� %����" �����' ������ �.� D ��5� 2 �.� F ������ �.� 4 ��5�52 �.� ��" = ����5� �.� ��� G��" ( ���� /�%� ��� "������"� 9�%��$�% �� ;<-�� ����� ��)����% /��� ��� I ��� ������ �. /�%� ��� �%������ �,�������� !)��� ��� ( ��� �����)� "������" �� �� � � �= $������" �� 2�� �= /��� ��� G ��� /�� ����%$�" �%�, ����� � � �� �� �=�1� ��,,�%� ��� �������) "��� �� �%%�"����" ;<-�� ��"����� ���� ��� ( ����%� ��
��%,�" �� �� ��%��% ���)� ���� G ��" �� ����� ���� ����� � � �= ��� �� ���� "����-���%� ��� G ����%� �$�$�� ��" �� ����� ���� ����� �� �=� +��� �� �� ����%%�" ���� ���( ��" G ���� �%� %����" �� ���%����� "������ ��" ��� G ����%� �� � �%)�% �))%�)������� (� @��� ������ ��)��� �%� ���� �� ����%����� �� /� �� �,��������� ��" %��%�-���� �%��������� ���/��� )�� ������� +��� "�����)������ ���, �%�, ����" �0����� �%����-����� ����" ��% �0�,�� �� ��� � ����%��C�/ ����0�� ��%��� ,����%�,���� ��$� ���� ��%%��" ��� �� ���� �� ����� ����%���
;�% G ��� ��� �� ���� ���� �/� �� ����� ��%��� /��� ��� ��,������ ����) "������" /����� � ���" ��%�� �� ��%��� �0�� ��" ��� ����% ��%���"����% �� �� 7�28� ��,��%� ���G ��� �� ���� ��"�% ����� ��� ��� �� ����� ��%���� 1� �� ���% ���� ���� ����$���% ������������ /��� &�" ��,,��%� �� ��� ������ �%�������� ����%� ���/��� �����% �� ��" ��
1��%����� &������ ��" ?����� @��"� &������" �� '������� &���%,�" �� ���
![Page 6: Intrinsic Defects and the D1 to D4 Optical Bands Detected in Plastically Deformed Si](https://reader036.fdocuments.us/reader036/viewer/2022080304/575001861a28ab11488e91f7/html5/thumbnails/6.jpg)
�% �� ��" �� ������� ��%�����) ���) ��� ����� "�%������ ��;�)� 2 /��" �%�"��� �6��$���� "������� D�/�$�% �����,� ��%��� �����%� �� ����" �� ��� ����%� ��� +" ��,,�-�%� ��� �� ���� ���� �� ����%�� "���� �%�������� ���"��� ����% �� ��� �� ��� ������ ��" �� ��,,��%�� +�� ��-���� �� ��%��� �� ���� %������" �� ��� �������) �� ��� ��,�����" ��" ��� �0����� ��� $��%���� ��%����%� �� �����������" /��� � �� �% � $��%������ ,�"�� D�/�$�% ���%� �� �� �$�"���� ���� ����� ,�"�� �%� ��$�$�" ��"���� ��� ��,,��%� �� ��� "����� �� �� ����$�" �� �� &�"�
4�$�� ��� ���%,� �������� �� ��� G "����� ��" ��� ��,,��%� �� �� ��,����) �� �"�������� /��� 12� D�/�$�% ��� ������� �%���, �� ���� ��� ��%��� �������$��� �� ��� "����� �����,����� �%)�� J�"�% 7���8 ��%��� ��� ��� ����� �� ���,�.>4'� /���� �� )%����%���� ��� �������) �� ��� ���"������ ���" 5�� ,�.>4'� 7� 8�� ?� ���%�� ���� ,�� %�-���� ��� �������� �� ��� %������%����" ���"� ��� �� ����%�%� �� ��� %�� ���� ����%������"������ �%� �������� ��%"� +�� �%�������� ���%)� �� ��� �. )%����% ���� ��� "���� ����� "���% �$� ���/ ��� ���"������ ���" �")� ��" �� �� �� �� ����%�� �%�������� /�������� ���� �/�% ���) ������ �%� ��$�$�"�;�%���% /�%3 �� �������%� �� �����%, ���� ��� "������ �%� ��� ��,�� (� 3��/ �%�,
��� B'# ��$����)������ ���� ��� %��%��������� ���%)� �� @� �� ��� �. ��" �� ���� ���%)����" �� ,����%�" ��% ��� G ����%� ���� �� /��" �%�$�"� �%%������� �$�"���� ��% ����"������ �� ��� "�������!���,��) ���� G �� ���� 12 �� �� ���% ���� ��� ( ��� ��������� ��/�% ����%�������
��" ��� ���������� ��))����" �%�$����� 7��8 �� ���� �� �� � �%�)��� ��%, �� 1� ���/� ��;�)� � +�� ��,,��%� �� ��� "����� �� 3��/� �� �� �%�)��� 7��8� +�� ,��� �$�"���� ��%��� ����)�,��� ��,�� �%�, ��� �������" ��� $��%������ ,�"�� /���� �%� ���� �� ������� %����� ����" �� �2 �,��� +��� ��"�%)��� �%)� �������� ������ /��� �5�� ��"����� +���� �,�� ���� ��� $��%����� �� "�� �� � ��,�%����" ��:�� ���" ���) �� ����%�)��� �0�� �� ���� ��� $��%������ ,�"� ��� ���$� ��� #�,�� ��� ��" �� ������" ����� �% �/� �� ���,��
�� �� "�������� ��� �
+���� ���"� �%� ����$�" �� �� %����" �� "���������� �� ���� ���%���� �� ��������� /���"��������� "������� +��� �%� ���� �� ���� =H ��" ;< ,���%�� �%%�������$� �� ���� ��"�%� ����� �� ���� �=� +��� �0����� ��%��) ���%������� ���) ��� "��������� ��� "�%��-���� 7��8� &� ��" &� �%� ������� �������" �� �0�)�� 7�5 ��8 ��" �/ �������%����� ���%�������� ,��� �,��%����� ���� �� =� 7�� ��8� D�/�$�% �%)�% �������%������ �� =�����%��� ��� ���"�� +�� ������ �� ��"%�)�� ��� ���� ����%�$�%���� 1����� %���%�� ��)-)����" � ����%������ �� ��� ���"� ��� ���% /�%3 ��"�����" ���� ��� ��������� �� ��,����"� ���" �� ���%����" 7��8� ��,��% ���� �%� ���� �� ��4� ������%� �� �� �� ������� �= �����)� ����% ���%)��� �%� %�"-������" �� ����� ��� �. 7�28�
��� �� ����� �� ��
;�)� � +%�)��� �%�-����%������ "�����
![Page 7: Intrinsic Defects and the D1 to D4 Optical Bands Detected in Plastically Deformed Si](https://reader036.fdocuments.us/reader036/viewer/2022080304/575001861a28ab11488e91f7/html5/thumbnails/7.jpg)
1� �� ���% ���� �,��%����� ��$� �� ������ �� ��� ���"� ��" /� ������� ���� ��� �,��-%����� �% ��� ��4�:�� ����%���� )���%��� ����%������� �% ��� �3�� $�������� /���� �%������6����� �%����" �� ��� "���������� �,� �����%� �� ����� "������ �%� ��� ���%-,�� ����� ��" �%��3 �� �% ,�$� %���"� ���) ��� ��%� ���� ,�%� ����� �%)�%�����%� �%� ,�"�� =��%� �� 12 ��" .� �%� ����� �� �� �= �� ����� "������ ���� ����%�������� �� �3�� �� �� �������" �� � "��������� ��%�� +��� ���/� �� ��� ��%��� ��%-%���"��) ��� "����� ��� �� %���$�" �� ��� "���������� D�/�$�% ����% ��%����%� �� �3���� �� ��%��%��" /��� �����6���� ������ �� ����% ����%���� �$��� 1� ��� �$�� ,�$���/�%"� ,�"-)�� ���� /� ���������� � "�/�/�%" ����� �� ��� �,������ ���%)� ��" �����%���� �� ��� ���%,� �������� �� ��� �,���������� (� ���� �"������ ��� &-���" �,�-�������� /��� ����� �% �$�� �%)�% �����%��+��%� �%� ,��� 6�������� /��� ��� ���������� �"$����" ��%�� ��� ���"��) ���%)��� ��
��� �����%� /��� ��� ��%� ���" �� �� �$�����"� ��� ��%��%������ �� ����% ���%)� �$�������" �� ��� ��%�� ��� %���������� /��� ��� &F+� �$�� �� �� � ��� ��� �� ��"�� 2 �. ����%$�" �� �-�� 7� 8 ��" ��� �$ � ��2� �. �$� "������" �� �-�� �� /� �� ���"��������� %����" B'# ����%�� K� �� K 7��8� 1� �""����� ��� %��� �� �0�)�� ��"%�-)�� ��" =� ���" �� �� ��$����)���"� (� ���� �� "������ ����� ������� �� � ����%� ���-��������
������������� ��L� ����3� C;# ��" +;# ��" #� �� ����3� BC&B!�& ��% ��-������ �����%�� (� ��� ����3 4�%"�� &�$��� ��% ����� "�����������
#�����
7�8 �� �� �������� �� �� ������ ��" �� �� ���� �� �� B0��%� +���%� '���� F���� � 5� �55���7�8 !� "� ������#������� ��" �� $���� !��� '���� F���� $% ���� �55���7�8 �� ����� 9���%� ���� B�)�)� @ &� �2 ������728 �� %����� !� � &�� ��'(���� !� �� )�������(�� *�+%� ,�� ��" �� ��(����� �� !��� '���� &
�5 � �55���7 8 !� �� ������� ��" %� � ������ ��,����"� ���� +������ � ��2 �55���7�8 � �� $������ �� &� ������� *� %� ,�� ��" !� �� )�������(� �� !��� '���� ' ���� �55���7�8 � �� $������ ��" �� $� ������ '���� #�$� @ % 2� � �5�2��7�8 �� %� ��������� �� � �������� ��" �� -����� '���� #�$� @ ' 2�5� �5����758 �� �� ��� ��" .� �� ��� '���� #�$� @ ' � �� �5����7��8 �� .� !������ ��� �� &� %������� ��" �� �� )������ !��� '���� F���� &( 2�� �55���7��8 �� %�/�� ���� �� ������ �� �� ��0����� �� ������ �� �� ������� ��" �� .� !������ �� '����
#�$� @ $� �� 52 ������7��8 �� �� ��0����� !� � &�� ��'(��� ��" � ������ '���� #�$� @ )$ � �� �55���7��8 �� $���� '������ ��$� �5 �5����7�28 �� ����� �� ������ ��" -� .� 1�� '���� #�$� F���� &' 2�� �55���7� 8 �� �� ����� �� �� ���� �� ������ �� ����� ��" �� �� ������� ���,����"�7��8 -� �/���� �� ��� ���(���� �� &���1� �� ���� �� ������ �� �� ������� ��" �� ����� '����
#�$� @ )& 2�5� �55���7��8 �� %/�(� '%��� #��� ���� ! '� � �5����7��8 �� -/�� ��" �� ������ '��� 9�)� F���� &� 55 �55 ��7�58 �� �������� �� ������ �� ����� ��" �� �� ������� '���� #�$� F���� '� ���� �555��7��8 .� &� ���'�� '���� #�$� @ �� ��� �5� ��7��8 �� �� -/��� ��� �� �� �2���1�� �� ./�/��� ��" %� ����� ���� �� !��� '���� �� �55 �5����7��8 .� ����� ��� �� 3����� �� -� $������� ��" �� .����� 9���%� ���� ;�%�, �)'*�$ ��
�55���7��8 "� "� �'���(����� �� %���1� �� -������ �� &� &�������4� *� 5 ��� ��" �� $� ������
'���� #�$� @ �� �� �55���7�28 5� ���� ���'���� � ������ ��" !� � &�� ��'(��� ���" ����� =�,,��� �% 2�� �5�2��
1��%����� &������ ��" ?����� @��"� &������" �� '������� &���%,�" �� ��5
![Page 8: Intrinsic Defects and the D1 to D4 Optical Bands Detected in Plastically Deformed Si](https://reader036.fdocuments.us/reader036/viewer/2022080304/575001861a28ab11488e91f7/html5/thumbnails/8.jpg)
7� 8 &� �� &�/��� )� %� ��((��� ��" -� ������ '���� #�$� @ ���� �5����7��8 �� �� ����� �� �� ���� �� ������ �� ����� ��" �� �� ������� '������ �& *�&�� � �555��7��8 �� �� ���� �� ��" �� �� -/��1� �� !��� �����%������ �% �2� �5�5��7��8 -� �/���'� ��" .� �/��� �� '����6�� �� =2:��� �5����7�58 "� �� )��(������ � -������+���/(�� �� ��� �/� ��" !� �� *����� ����� ����� ��� �� �&�
�2� �555��7��8 �� %���� ��� B�%� ���)�� �� ?0�)�� '%����������� �� ������ .�� �� C!+? !�1 ��%� � D�)�
+������)� B"� �� ����� K�/�% !��"�,�� '��� &�%"%���� �55� �� 2�5��7��8 �� %����� -� �(����� �� �����(�' ��" �� .��� �(�1 !��� '���� F���� $( ���5 �55���7��8 �� "�/1��� -� �/���'�� 3� *������� ��" .� �/��� 9���%� ���� ;�%�, �%$*�(� ����
�55 ��7��8 �� �����/� �� �� �� .����� ��" .� �/��� �� !��� '���� &$ ���� �552��7�28 �� -� -����1 ��" .� � / 9���%� ���� ;�%�, �)'*�& � � �55���7� 8 �� "(���� !� �� $����� &� -����(�/�� %� �(�6����� ��" �� -�� �( '���� #�$� @ � � ��
�5� ��7��8 !� �� $���� ��" %� �(�6����� �� '����6�� �� =2:��5 �5����
�2� �� ����� �� ��� 1��%����� &������ ��" ?����� @��"� �� &���%,�" ��