ポジショニングテーブル...POSITIONING TABLE ポジショニングテーブル I-4 I-5...

POSITIONING TABLE

ポジショニングテーブル

I-2 I-3

ポジショニングテーブル形　式

　NBポジショニングテーブルは、高速・高精度に対応したパルスモータ駆動方式の汎用形精密位置決めテーブルです。　案内にNBスライドウェイ（NCT形）、NBスライドユニット（NSL形）、NBスライドガイド（NPT形、NBL形、NBN形）を用い、伝達機構には精密ボールねじを使用し、高速から低速にいたるまで安定した精度が得られます。　また、標準仕様の他にメカトロニクスをはじめ広範囲な用途の中で、スペースや装置、スペック等に合わせた特殊仕様にも対応いたします。

構造と特長

●主な用途各種電子部品製造装置／計測機／レーザー加工機半導体製造装置／産業用ロボット／自動加工機／撮影機

形式ストロークmm ガイド方式耐荷重特長モータ形式

NCT 50〜300 スライドウェイSV形中荷重

高精度高剛性ローハイト

5相ステッピングモータACサーボモータ

NBL 50〜800 スライドガイドSEB形中荷重

軽量・高精度ロングストロークカバー付有ジャバラ付有


NPT 300〜1,000 スライドガイドSGL-H形重荷重

高精度・高剛性ロングストロークカバー付有ジャバラ付有



軽量低価格ロングストロークジャバラ付有

中荷重スライドユニットCD形50〜800NSL

NCT形

P.I-12

NBL形

P.I-14NPT形

P.I-20

NSL形

P.I-26


Nコンビネーションシステム低重心・高精度広いワークエリア

中荷重スライドガイド

SGL形SGW形

50×50

〜

200×200NBN

NBN形

P.I-38

POSITIONING TABLE


I-4 I-5

呼び番号の構成

例）図I-1

NB ポジショニングテーブルの機能評価方法

　NBポジショニングテーブルの機能評価はJIS B6201及びB6330に準拠して測定を行ないます。

1.位置決め精度（JIS B6330参照）　まず一定の向きで適当な位置決めをし、これを基準位置とする。次に同じ向きへ順次位置決めを行ない、それぞれの位置で基準位置から実際に移動した距離と移動すべき距離との差を測定し、それらの基準長さ内における最大差を求める。測定はほぼ全域にわたり、機種別に規定する測定間隔で行なう。これらの求めた最大差のうち、最大値を測定値とする。

/×

無記入L. .R

標準特殊リード下図参照

5MAC


NCTNBLNPTNSL

スライドウェイ SV形使用スライドガイド SEB形使用スライドガイド SGL-H形使用スライドユニット CD形使用

NCT 200 100 − AC J L5 R

オプション仕様

無記入CJ

標準カバー付（NCT、NSL形を除く）ジャバラ付（NCT形を除く）

オプション仕様

モータ仕様

Y軸ストローク（上軸）

X軸ストローク（下軸）

使用ガイド形式

テーブルの組合せ

Y軸（上軸）

X軸（下軸）

Y軸（上軸）

X軸（下軸）

標準 R仕様

3.ロストモーション（JIS B6330参照）　まず一つの位置について正（あるいは負）の向きでの位置決めを行ない、その位置を測定する（図I-3のℓ1）。次に同じ向きに指令を与えて移動させ、その位置から負（あるいは正）の向きでの位置決めを行ない、その位置を測定する（図I-3のℓ1′）。更に負（あるいは正）の向きに指令を与えて移動させ、その位置から正（あるいは負）の向きに同一指令を与えて移動させて正（あるいは負）の向きでの位置決めを行ない、その位置を測定する（図I-3のℓ2）。以下この動作を繰返し、正及び負の向きでのそれぞれ7回の位置決めの停止位置の平均値の差を求める。この測定を動きの中央及びほぼ両端で行い、求めた値のうちの最大のものを測定値とする。

2.繰返し位置決め精度（JIS B6330参照）　任意の一点に同じ方向からの位置決めを7回繰返して停止位置を測定し、読みの最大差1/2を求める。この測定を原則として、移動距離の中央及びほぼ両端のそれぞれの位置で行ない、求めた値のうちの最大のものを測定値とする。

位置決め精度＝（Δℓn）max

17（ℓ1＋ℓ2…ℓ7）−ロストモーション

測定値（ℓ1'＋ℓ2'…ℓ7' ）max

＝ 17

繰返し位置決め精度

12（ℓnの最大値）−（ℓnの最小値）＝±⎧⎩⎧⎨⎩

⎫⎬⎭⎫⎭max

基準長さ

基準長さ基準長さ

（基準位置）

移動距離ℓ⊿ℓ＝（実際に移動した距離）ー（指令した距離）⊿ℓn：基準長さ内における⊿ℓの最大差

⊿ℓ

⊿ℓ1 ⊿ℓ2

⊿ℓn

図I-2

ℓ1

ℓ2

ℓ3

ℓ7

図I-3

ℓ1

ℓ1

ℓ2

ℓ7

ℓ2

ℓ7

ℓ3

'

'

'

POSITIONING TABLE


I-6 I-7

4.バックラッシュ（JIS B6201参照）　テーブルに送りをかけて、わずかに動かしたときのテストインジケータの読みを基準とし、更にその状態から送り装置によらずにテーブルを同方向に微動させたときのテストインジケータの読みの差を求める。この測定を移動距離の中央及びほぼ両端の位置で行ない、求めた値のうちの最大差を測定値とする。

バックラッシュ＝（Δℓ）max

5.平行度A（JIS B6201参照）　テーブルを取付けた定盤上にテストインジケータを固定し、ほぼテーブル上面の中央にテストインジケータを位置させ、テーブルを移動距離のほぼ全域にわたって動かしたときのテストインジケータの読みの最大差を測定値とする。

6.平行度B（JIS B6201参照）　テーブル中央にインジケータを固定し、テーブルを取り付けた定盤上にテストインジケータを当て、テーブルを移動距離のほぼ全域にわたって動かしたときのテストインジケータの読みの最大差を測定値とする。※注　NCT形のみ適用

7.XY運動の直角度（JIS B6201参照）　テーブル上面に、XあるいはY軸の移動を基準に直角定規を据付け、基準軸と直角方向のほぼ移動距離全域にわたって動かしたときのテストインジケータの読みの最大差を測定値とする。

図I-4

送りねじ送り荷重変位

もどり⊿ℓ

図I-5

平行度B

平行度A

図I-6

X軸

Y軸

8.真直度　直線でなければならないテーブル運動の幾何学的直線からの狂いの大きさとする。　水平真直度：テーブルの移動軸の左右（水平）方向の動き　垂直真直度：テーブルの移動軸の上下（垂直）方向の動き　レーザー真直度測定システムで測定し、測定した値に平行な二つの直線で、その間隔が最小になるように狭んだときの2直線の間隔で表わす。

9.ピッチング、ヨーイング　ピッチング：テーブル移動軸における上下方向の角度変化　ヨーイング：テーブル移動軸における左右方向の角度変化　レーザー角度測定システムで測定し、読みの最大差で表わす。

図I-7

真直度

図I-8

ピッチング

ヨーイング

垂直真直度

水平真直度

テーブル移動軸

POSITIONING TABLE


I-8

精　度

NCT形単位／μm

呼び番号A B

位置決め精度


平行度1軸テーブル

バックラッシュ直角度

X方向 Y方向

2軸テーブル

呼び番号平行度A

NCT 50-5M,-ACNCT100-5M,-ACNCT150-5M,-ACNCT200-5M,-ACNCT250-5M,-ACNCT300-5M,-AC

NCT 50× 50-5M,-ACNCT100×100-5M,-ACNCT150×150-5M,-ACNCT200×200-5M,-ACNCT250×250-5M,-ACNCT300×300-5M,-AC

5

6 7 810

10

12

15

20

3 6 912

15

±1 1以下

10

12131518

5

6 7 810

5

6 7 810

NBL形単位／μm

呼び番号A

位置決め精度




X方向 Y方向

2軸テーブル


NBL 50-5M,-ACNBL100-5M,-ACNBL150-5M,-ACNBL200-5M,-ACNBL250-5M,-ACNBL300-5M,-ACNBL350-5M,-ACNBL400-5M,-ACNBL450-5M,-ACNBL500-5M,-ACNBL600-5M,-ACNBL700-5M,-ACNBL800-5M,-AC

NBL 50× 50-5M,-ACNBL100×100-5M,-ACNBL150×150-5M,-ACNBL200×200-5M,-ACNBL250×250-5M,-ACNBL300×300-5M,-ACNBL350×350-5M,-ACNBL400×400-5M,-ACNBL450×450-5M,-AC

10

15

20

25

35

30

35

40

50

55

±1 1以下

20

25

30

35

10

15

20

10

15

20

25

標準品のY軸（上軸）のストロークは450mmが最大となります。450mmを超えるストロークをご希望の場合はNBまで連絡ください。

NPT形単位／μm

呼び番号A

位置決め精度




X方向 Y方向

2軸テーブル


NPT 300-5M,-ACNPT 400-5M,-ACNPT 500-5M,-ACNPT 600-5M,-ACNPT 700-5M,-ACNPT 800-5M,-ACNPT 900-5M,-ACNPT1000-5M,-AC

NPT300×300-5M,-ACNPT400×400-5M,-ACNPT500×500-5M,-AC

15

20

30

20

30

40

50

±2 2以下

20

25

15

20

15

20


I-9

●ストロークの相異なるテーブルを組合わせた2軸テーブル精度については、次の様になります。

①平行度AのX方向　X軸ストロークと同一ストロークをもつ2軸基本テーブ

ルの平行度AのX方向②平行度AのY方向　Y軸ストロークと同一ストロークをもつ1軸テーブル精

度の平行度A③直角度　X-Yのどちらか長いストロークと同じストロークをもつ

2軸基本テーブルの直角度※位置決め精度、繰返し位置決め精度、バックラッシュ

については1軸テーブル精度と同等になります。

　例　NCT 200×100-5Mの精度平行度A：X方向　13μm、Y方向　5μm 直角度：7μm　　　NBL 300×50-5Mの精度平行度A：X方向　30μm、Y方向　10μm 直角度：15μm

図I-9

NSL形（コマーシャルタイプ）単位／mm

呼び番号A




X方向 Y方向

2軸テーブル


NSL 50-5M,-ACNSL100-5M,-ACNSL150-5M,-ACNSL200-5M,-ACNSL250-5M,-ACNSL300-5M,-ACNSL350-5M,-ACNSL400-5M,-ACNSL450-5M,-ACNSL500-5M,-ACNSL600-5M,-ACNSL700-5M,-ACNSL800-5M,-AC

NSL 50× 50-5M,-ACNSL100×100-5M,-ACNSL150×150-5M,-ACNSL200×200-5M,-ACNSL250×250-5M,-ACNSL300×300-5M,-ACNSL350×350-5M,-AC

0.06

0.07

0.08

±0.05 0.1以下

0.10.050.06

0.07


⎧⎨⎩

⎧⎨⎩

Y軸

X軸

POSITIONING TABLE


I-10 I-11

機能評価システム

　NBポジショニングテーブルは超精密レーザー測定システムを使用して、さまざまな機能を評価し最適な特性を保証します。

NBポジショニングテーブル

超精密レーザー測定装置

ドライバ

コントローラカラーレーザープリンター

精度測定データ

●テーブル呼び番号　NCT50-AC ●ドライバ呼び番号　MSD011A1XX

位置決め精度

真直度（水平）

真直度（垂直）

POSITIONING TABLE


I-12 I-13

NCT形

NCT100～250※部モーターコネクタはステッピングモータータイプに適用します。

NCT50※部モーターコネクタはステッピングモータータイプに適用します。

E 150 EB C

120

D 120 D

※モーターコネクタ

センサーコネクタORGセンサO.T.1センサ

4-M6深さ11

PORG2センサO.T.2センサ

MA

1/2S 1/2S

150

170

130

170

23 1060

29

6

N-取付穴

D

E 180 EB C M

85（170）

A

D 85 85


センサーコネクタORGセンサO.T.1センサ

O.T.2センサ

PORG2センサ

150

200

160

180

200

102360

29

6-M6深さ11

1/2S 1/2S

6

N-取付穴

NCT300※部モーターコネクタはステッピングモータータイプに適用します。

180B C

（170）

1/2S 1/2S

150

200

160

180

200

25 1275※モーターコネクタ

センサーコネクタORGセンサ 30.5

O.T.1センサ

O.T.2センサPORG2センサ

E EM

A

D 85 85 85 85 DＮ-取付穴

85

6-M6深さ13

NCT 50-5M-AC

NCT100-5M-AC

NCT150-5M-AC

NCT200-5M-AC

NCT250-5M-AC

NCT300-5M-AC

有効ストローク

mm

主要寸法

呼び番号

最高速度

Vmax.

mm/sec

加減速時間

（0 〜 Vmax.）sec

水平可搬質量

kg

A

mm

B

mm

C

mm

M

mm

E

mm

D

mm

N-取付穴

ボールねじ

リード

mm

イナーシャ

×10−4kg・m2

ストロークエンド（O.T.1,O.T.2）

原点前（PORG2）

モータガイド原点（ORG）

質量

kg

センサ

100250100250100250100250100250100250

0.10.20.10.20.10.20.10.20.10.20.10.2

56

100

150

200

250

300

60

268310324367389428494533599638560.5604

170

210

250

330

410

450

45 48 61 65

86

111

136

62

5392539253925392539248.592

10

15

35

75

115

135

25

20

40

80

35

55

4-M6用

6-M6用

10-M6用

5

0.1190.1060.1480.1350.1730.1580.2130.2000.2550.2420.2800.271

3K-S545MSMD012P1S

3K-S545MSMD012P1S

3K-S545MSMD012P1S

3K-S545MSMD012P1S

3K-S545MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

SV4160

SV4200

SV4240

SV4320

SV4400

SV4440

フォトマイクロ

フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相

9

12

14

18

21

28

イナーシャはボールねじ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。水平可搬質量は加減速時間により変化します。ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。

分解能 pluse/rev最小送り量 mm

1,000*0.005

2,5000.002

5,0000.001

10,0000.0005

最小送り量

* 出荷時の設定表記以外の設定も可能です。NBまでご連絡ください。

POSITIONING TABLE


I-14 I-15

NBL形−標準形−

※部モ－タ－コネクタはステッピングモ－タ－タイプに適用します

40

180

160

180

161636.572

130

1/2S 180 1/2S 20202

60※モ－タ－コネクタ

DB 10

50

130

４-Ｍ6深さ16

O.T.２センサ

MA

ORGセンサPORG1センサ O.T.1センサ

D150150150Ｎ-取付穴

センサ－コネクタ

NBL 50-5M-AC

NBL100-5M-AC

NBL150-5M-AC

NBL200-5M-AC

NBL250-5M-AC

NBL300-5M-AC

NBL350-5M-AC

NBL400-5M-AC

NBL450-5M-AC

NBL500-5M-AC

NBL600-5M-AC

NBL700-5M-AC

NBL800-5M-AC


mm

主要寸法

呼び番号

最高速度

Vmax.

mm/sec

加減速時間


水平可搬質量

kg

A

mm

B

mm

M

mm

D

mm

N-取付穴

ボールねじ

リード

mm

イナーシャ

×10−4kg・m2




質量

kg

センサ

200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500

0.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.4

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

600

700

800

50

328.5 372 378.5 422 428.5 472 478.5 522 528.5 572 578.5 622 628.5 672 678.5 722 728.5 772 778.5 822 878.5 922 978.5 1,022 1,078.5 1,122

270

320

370

420

470

520

570

620

670

720

820

920

1,020

48.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.592

60

10

35

60

10

35

60

10

35

60

35

10

60

4-M6用

6-M6用

8-M6用

10-M6用

12-M6用

14-M6用

10

0.1610.1570.1800.1760.1990.1960.2190.2150.2380.2350.2580.2540.2770.2730.2960.2930.3160.3120.3350.3320.3740.3700.4180.4140.4570.453

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

SEB15A フォトマイクロ

フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相

7.5

8.0

9.0

9.5

10.5

11.0

12.0

12.5

13.5

14.0

15.5

17.5

19.0

イナーシャはボールネジ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。水平可搬質量は加減速時間により変化します。ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。


1,000*0.01

2,0000.005

5,0000.002

10,0000.001

最小送り量


POSITIONING TABLE


I-16 I-17

NBL形−カバータイプ−


6-Ｍ6深さ16

80 80

168

12180

12

2177

160

180

1636.5

1801/2S※モ－タ－コネクタ

602

20 201/2S


40

DB 10

O.T.２センサ

M

ORGセンサPORG1センサ O.T.1センサ

D150150150Ｎ-取付穴10

A

50

NBL 50-5M/C-AC/C

NBL100-5M/C-AC/C

NBL150-5M/C-AC/C

NBL200-5M/C-AC/C

NBL250-5M/C-AC/C

NBL300-5M/C-AC/C

NBL350-5M/C-AC/C

NBL400-5M/C-AC/C

NBL450-5M/C-AC/C

NBL500-5M/C-AC/C

NBL600-5M/C-AC/C

NBL700-5M/C-AC/C

NBL800-5M/C-AC/C


mm

主要寸法

呼び番号

最高速度

Vmax.mm/sec

加減速時間

（0〜 Vmax.）sec

水平可搬質量

kg

A

mm

B

mm

M

mm

D

mm

N-取付穴

ボールねじリード

mm

イナーシャ

×10−4kg・m2




質量

kg

センサ

200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500

0.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.4

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

600

700

800

50

338.5 382 388.5 432 438.5 482 488.5 532 538.5 582 588.5 632 638.5 682 688.5 732 738.5 782 788.5 832 888.5 932 988.5 1032 1088.5 1132

270

320

370

420

470

520

570

620

670

720

820

920

1,020

48.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.592

60

10

35

60

10

35

60

10

35

60

35

10

60

4-M6用

6-M6用

8-M6用

10-M6用

12-M6用

14-M6用

10

0.1540.1510.1740.1700.1930.1890.2120.2090.2320.2280.2510.2470.2700.2670.2900.2860.3090.3060.3290.3250.3670.3640.4120.4080.4500.447

4K-M564MSMD012P1S4K-M564

MSMD012P1S4K-M564

MSMD012P1S4K-M564

MSMD012P1S4K-M564

MSMD012P1S4K-M564

MSMD012P1S4K-M564

MSMD012P1S4K-M564

MSMD012P1S4K-M564

MSMD012P1S4K-M564

MSMD012P1S4K-M564

MSMD012P1S4K-M564

MSMD012P1S4K-M564

MSMD012P1S



8.5

9.5

10.5

11.5

12.5

13.5

14.0

15.0

16.0

17.0

18.5

21.0

22.5


分解能pluse/rev最小送り量mm

1,000*0.01

2,0000.005

5,0000.002

10,0000.001

最小送り量


POSITIONING TABLE


I-18 I-19

NBL形−ジャバラタイプ−


190

155

180

1692

161636.5斜線部

ジャバラ範囲

210

72

130

４-Ｍ6深さ１６

1/2S1801/2SE

PORG1センサ O.T.1センサO.T.２センサ

401550

B 1010

130

60


※モ－タ－コネクタ

ORGセンサ

MA

E

150 150 150 DD

2

N-取付穴

NBL 50-5M/J-AC/J

NBL100-5M/J-AC/J

NBL150-5M/J-AC/J

NBL200-5M/J-AC/J

NBL 250-5M/J-AC/J

NBL300-5M/J-AC/J

NBL350-5M/J-AC/J

NBL400-5M/J-AC/J

NBL450-5M/J-AC/J

NBL500-5M/J-AC/J

NBL600-5M/J-AC/J

NBL700-5M/J-AC/J

NBL800-5M/J-AC/J


mm

主要寸法

呼び番号

最高速度

Vmax.

mm/sec

加減速時間


水平可搬質量

kg

A

mm

B

mm

M

mm

D

mm

E

mm

N-取付穴

ボールねじ

リード

mm

イナーシャ

×10−4kg・m2




質量

kg

センサ

200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500

0.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.4

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

600

700

800

50

368.5 412 428.5 472 488.5 532 548.5 592 608.5 652 668.5 712 728.5 772 788.5 832 858.5 902 928.5 972 1048.5 1092 1178.5 1222 1308.5 1352

300

360

420

480

540

600

660

720

790

860

980

1,110

1,240

48.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.592

35

40

45

50

55

60

65

70

80

90

100

115

130

75

30

60

15

45

75

30

60

20

55

40

30

20

4-M6用

6-M6用

8-M6用

10-M6用

12-M6用

14-M6用

16-M6用

18-M6用

10

0.1900.1860.2090.2060.2290.2250.2480.2450.2670.2640.2870.2830.3060.3030.3260.3220.3450.3410.3640.3610.4390.4350.4830.4790.5220.518

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S



10.0

11.0

11.5

12.5

13.5

14.5

15.5

16.5

17.5

18.5

20.5

22.5

24.5



1,000*0.01

2,0000.005

5,0000.002

10,0000.001

最小送り量


POSITIONING TABLE


I-20 I-21

NPT形−標準形−


220

PORG2センサセンサーコネクタ

160

402525


10


O.T.2センサ

１/２Ｓ１/２Ｓ

B

75

157

220

200

220

20 2090

540

ORGセンサ

1504-M8深さ２０

10 MA

D 300 300 D

N-取付穴

44.5

NPT 300-5M-AC

NPT 400-5M-AC

NPT 500-5M-AC

NPT 600-5M-AC

NPT 700-5M-AC

NPT 800-5M-AC

NPT 900-5M-AC

NPT1000-5M-AC


mm

主要寸法

呼び番号

最高速度

Vmax.

mm/sec

加減速時間


水平可搬質量

kg

A

mm

B

mm

M

mm

D

mm

N-取付穴

ボールねじ

リード

mm

イナーシャ

×10−4kg・m2


原点前（PORG1, PORG2）


質量

kg

センサ

200500200500200500200500200500200500200500200500

0.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.4

300

400

500

600

700

800

900

1,000

200

644.5678.5744.5778.5844.5878.5944.5978.5

1,044.51,078.51,144.51,178.51,244.51,278.51,344.51,378.5

570

670

770

870

970

1,070

1,170

1,270

64.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.5

135

35

85

135

35

85

135

35

4-M8用

6-M8用

8-M8用

10-M8用

10

1.071.131.201.261.321.381.441.501.561.621.691.751.811.871.931.99

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

SGL30HTF フォトマイクロ

フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相

44

48

53

58

63

68

72

77



1,000*0.01

2,0000.005

5,0000.002

10,0000.001

最小送り量


POSITIONING TABLE


I-22 I-23

NPT形−カバータイプ−


220

PORG2センサセンサーコネクタ

160

402525


10


O.T.2センサ

１/２Ｓ１/２Ｓ

B

75

540

ORGセンサ

1504-M8深さ２０

10 MA

D 300 300 D

N-取付穴

223.2

200

220

1002030

20137

20

10

2.5

2.5

44.5

NPT 300-5M/C-AC/C

NPT 400-5M/C-AC/C

NPT 500-5M/C-AC/C

NPT 600-5M/C-AC/C

NPT 700-5M/C-AC/C

NPT 800-5M/C-AC/C

NPT 900-5M/C-AC/C

NPT1000-5M/C-AC/C


mm

主要寸法

呼び番号

最高速度

Vmax.

mm/sec

加減速時間


水平可搬質量

kg

A

mm

B

mm

M

mm

D

mm

N-取付穴

ボールねじ

リード

mm

イナーシャ

×10−4kg・m2




質量

kg

センサ

200500200500200500200500200500200500200500200500

0.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.4

300

400

500

600

700

800

900

1,000

200

654.5688.5754.5788.5854.5888.5954.5988.5

1,054.51,088.51,154.51,188.51,254.51,288.51,354.51,388.5

570

670

770

870

970

1,070

1,170

1,270

64.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.5

135

35

85

135

35

85

135

35

4-M8用

6-M8用

8-M8用

10-M8用

10

1.081.151.211.271.331.391.451.511.571.641.701.761.821.881.942.00

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S



49

54

59

64

69

74

79

85

イナーシャはボールねじ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。水平可搬質量は加減速時間により変化します。ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。


1,000*0.01

2,0000.005

5,0000.002

10,0000.001

最小送り量


POSITIONING TABLE


I-24 I-25

NPT形−ジャバラタイプ−


1/2SE 220 1/2S E540

B

PORG1センサPORG2センサ

センサーコネクタORGセンサ

160

40


O.T.1センサ

10

O.T.2センサ

75

M

1504-M8深さ２０

A

D 300 300 D

N-取付穴

10

235

902020

220

200

220（ワーク取付面）

157

17.5

44.5

NPT 300-5M/J-AC/J

NPT 400-5M/J-AC/J

NPT 500-5M/J-AC/J

NPT 600-5M/J-AC/J

NPT 700-5M/J-AC/J

NPT 800-5M/J-AC/J

NPT 900-5M/J-AC/J

NPT1000-5M/J-AC/J


mm

主要寸法

呼び番号

最高速度

Vmax.

mm/sec

加減速時間


水平可搬質量

kg

A

mm

B

mm

M

mm

E

mm

D

mm

N-取付穴

ボールねじ

リード

mm

イナーシャ

×10−4kg・m2




質量

kg

センサ

200500200500200500200500200500200500200500200500

0.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.4

300

400

500

600

700

800

900

1,000

200

704.5738.5824.5858.5944.5978.5

1,064.51,098.51,184.51,218.51,304.51,338.51,424.51,458.51,544.51,578.5

620

740

860

980

1,100

1,220

1,340

1,460

64.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.5

50

60

70

80

90

100

110

120

10

70

130

40

100

10

70

130

6-M8用

6-M8用

8-M8用

10-M8用

10

1.091.201.211.321.331.441.451.571.581.691.701.811.821.931.942.06

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S

21K-M596MSMD042P1S



51

57

63

68

74

80

86

91



1,000*0.01

2,0000.005

5,0000.002

10,0000.001

最小送り量


POSITIONING TABLE


I-26 I-27

NSL形

120

150

D 200 200 DB

170 1/2S1/2S10 50

センサ－コネクタO.T.1センサ

PORG1センサ

O.T.2センサ

16 1643

82

200

186

200

32 2

28

10

モーターコネクタ

ORGセンサ

MA

N-取付穴４-Ｍ6深さ１２

150

NSL 50-5M-AC

NSL100-5M-AC

NSL150-5M-AC

NSL200-5M-AC

NSL250-5M-AC

NSL300-5M-AC

NSL350-5M-AC

NSL400-5M-AC

NSL450-5M-AC

NSL500-5M-AC

NSL600-5M-AC

NSL700-5M-AC

NSL800-5M-AC


mm

主要寸法

呼び番号

最高速度

Vmax.

mm/sec

加減速時間


水平可搬質量

kg

A

mm

B

mm

M

mm

D

mm

N-取付穴

ボールねじ

リード

mm

イナーシャ

×10−4kg・m2




質量

kg

センサ

200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500200500

0.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.4

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

600

700

800

50

338.5 382 388.5 432 438.5 482 488.5 532 538.5 582 588.5 632 638.5 682 688.5 732 738.5 782 788.5 832 888.5 932 988.5 1,032 1,088.5 1,132

280

330

380

430

480

530

580

630

680

730

830

930

1,030

48.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.592

40

65

90

15

40

65

90

15

40

65

15

65

15

4-M6用

6-M6用

8-M6用

10-M6用

12-M6用

10

0.1830.1790.2020.1990.2220.2180.2410.2370.2600.2570.2800.2760.2990.2960.3180.3150.3380.3340.3570.3540.3960.3920.4350.4310.4740.470

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

4K-M564MSMD012P1S

CD20 フォトマイクロ


9.0

10.0

10.5

11.5

12.5

13.5

14.0

15.0

16.0

16.5

18.5

20.0

22.0



1,000*0.01

2,0000.005

5,0000.002

10,0000.001

最小送り量


POSITIONING TABLE


200400500

1,000

I-28 I-29

⊿ℓ：分解能（mm）P：ボールねじリード（mm）fr：モータ 1 回転当りの分割数（パルス /rev）

⊿ℓ= Pfr ………………………………（1）

技術資料

1.分解能　分解能とは1パルス当りのテーブル移動量（最小送り量）のことをいい、ボールねじリードとモータ1回転当りの分割数によって求めます。

fmax：最高周波数（PPS）⊿ℓ：分解能（mm）Vmax：最高速度（mm/sec）

fmax＝ Vmax⊿ℓ ……………………………（3）

　分割数モータ形式とドライバの組合わせによって異なります。●ステッピングモータ　ステッピングモータの場合、分割数はドライバの励磁方式によって決まります。（表I-1）●サーボモータ　サーボモータの場合、分割数はエンコーダ分割数とドライバの電気てい倍と分周比（電子ギア）によって決まります。（表I-2）

2.最高速度と最高周波数　最高速度は、ボールねじリードとモータ回転数によって求めます。

Vmax：最高速度（mm/sec）N：モータ回転数（rpm）P：ボールねじリード（mm）

Vmax＝ PN60 ……………………………（2）

　最高周波数は最高速度と分解能によって求めます。

　したがって最高速度はパルスコントローラ、ドライバ等の最高周波数に制限されることがあります。

表I-1 　ドライバ励磁方式と分割数

2相ステッピングモータ

5相ステッピングモータ

2相励磁1〜2相励磁

4相励磁1〜2相励磁

モータ形式ドライバ励磁方式

分割数パルス/rev

1,0002,0004,0002,5005,000

10,000

表I-2 　ドライバてい数と分割数（例）

1,000

2,500

1てい倍2てい倍4てい倍1てい倍2てい倍4てい倍

エンコーダ分割数パルス/rev

ドライバてい倍

分割数パルス/rev

表I-3 　ボールねじリードと分解能及び最高速度

使用モータ分割数

パルス/rev

最高周波数

Kpps

2分解能μm

最高速度mm/sec

4 5 10 20ボールねじリード mm

分解能μm

最高速度mm/sec

分解能μm

最高速度mm/sec

最高速度mm/sec

分解能μm

分解能μm

最高速度mm/sec

ステッピングモータ

2相

5相

サーボモータ

200400500

1,000500

1,0002,0004,000

6 12 20 40 25 50100100

10 5 4 2 4 2 1 0.5

60

80

100

50

2010 8 4 8 4 2 1

120

160

200

100

150

200

250

125

25 12.5 10 5 10 5 2.5 1.25

50 25 20 10 20 10 5 2.5

300

400

500

250

600

800

1,000

500

100 50 40 20 40 20 10 5

3.モータ選定法　特殊形状テーブル等でモータを選定する場合、以下の資料を参考にしてください。　図I-10にボールねじ駆動の代表例を示します。ここで W1 ：ワーク質量（kg） W2 ：テーブル可動部質量（kg） F1 ：テーブル進行方向に逆って押す力（N） F2 ：テーブル移動時にかかる力（N） D ：ボールねじ代表径（mm） ℓ ：ボールねじ全長（mm） P ：ボールねじリード（mm）となります。●駆動方式　ポジショニングテーブルでは、イナーシャ（慣性力）が働き、瞬時に速度を上げることができません。そのため加速時間を考えた駆動方式が使用されます。駆動方式には、距離移動によって三角移動、台形移動があります。①三角駆動（図I-11）　三角駆動は短い距離の移動に使用されます。

S＝Vta＝ 12 ………………………（4）Vtc

S：移動距離（mm）V：移動速度（mm/sec）ta：加減速時間（sec）tc：位置決め時間（sec）

②台形駆動（図I-12）　台形駆動は長い距離の移動に使用されます。

S＝V（ta＋tb）＝V（tc−ta）………………（5）

S：移動距離（mm）V：移動速度（mm/sec）ta：加減速時間（sec）tb：定速運転時間（sec）tc：位置決め時間（sec）

●角速度と角加速度①角速度　角速度は次式により求めます。

ω= 2πN60 ……………………（6）＝

ω：角速度（rad/sec）N：モータ回転数（rpm）V：移動速度（mm/sec）P：ボールねじリード（mm）

2πVP

②角加速度　角加速度は次式により求めます。

dωdt ……………………（7）＝

dω──：角加速度（rad/sec2）ω0：速度変化前の角速度（rad/sec） dtω1：速度変化後の角速度（rad/sec）⊿t：速度変化に要する時間（sec）

ω1−ω0⊿ℓ

図I-10　ボールねじ駆動

図I-11　三角駆動

F2

F1

リードP φD

モータW1W2

ℓ

VmaxV

ta ta

tc

図I-12　台形駆動

VmaxV

ta tb ta

tc

POSITIONING TABLE


I-30 I-31

●イナーシャ　イナーシャはSI単位系ではkg・m2で表わされ、重力単位系ではkgf・cm・sec2で表わされます。また重量と代表系を用いたGD2値もイナーシャの代用として使用されます。それぞれの値は次式で変換できます。

J＝g・l×10−4＝ ………………（8）

J：SI単位系のイナーシャ（kg・m2）I：重力単位系のイナーシャ（kgf・cm・sec2）g：重力加速度（980cm/sec2） GD2：GD2値（kg・m2）

GD2

4

①直線運動部のイナーシャ（JT）　直線運動部のイナーシャはワークの質量とテーブル可動部の質量で求めます。

JT＝（W1＋W2）・ ……………（9）

JT：直線運動部のイナーシャ（kg・m2） W1：ワーク質量（kg）W2：テーブル可動部質量（kg） P：ボールねじリード（mm）

P×10−3

2π⎧⎩

⎫⎭

2

②ボールねじのイナーシャ（JB）　ボールねじのイナーシャは次式で求めます。

JB＝ …（10）

JB：ボールねじのイナーシャ（kg・m2）WB：ボールねじの質量（kg） D：ボールねじの代表径（mm）ρ：ボールねじの密度（kg/mm3） ℓ：ボールねじの全長（mm）

WB・D2

8 ×10−6＝πD4

32 ・ρ・ℓ×10−6

③負荷イナーシャ（JR）とモーターロータのイナーシャ（JM）　テーブルにはカップリング、エンコーダ、タコジェネレータ等の運動部品が取付きます。テーブル仕様にそって全ての運動部分のイナーシャを求めます。求めたイナーシャの総和（モーターロータのイナーシャを除く）が負荷イナーシャとなります。

……………（11）

JR：負荷イナーシャ（kg・m2）JA：テーブルのモータ軸換算イナーシャ（kg・m2）JM：モーターロータのイナーシャ（kg・m2）JT：直線運動部のイナーシャ（kg・m2）JB：ボールねじのイナーシャ（kg・m2）JN：その他の運動部分のイナーシャ（kg・m2）

JR=JA−JM=JT＋JB＋JN

④モータの仮選定　負荷イナーシャとモーターロータのイナーシャの比率でモータのサイズの仮選定を行います。最適な比については各モータの資料を参照してください。

………………………………（12）

JM：モーターロータのイナーシャ（kg・m2）JR：負荷イナーシャ（kg・m2）　K：イナーシャ比

JR≦KJM

●所要トルク（T）　モータの所要トルクには、加速トルク、摩擦トルク、負荷トルク、ボールねじ起動トルクがあります。

……………………（13）

T：所要トルク（N・m） Tα：加速トルク（N・m）Tμ：摩擦トルク（N・m） TL：負荷トルク（N・m）TB：ボールねじ起動（N・m）

T=Tα+Tμ+TL+TB

①加速トルク（Tα）　加速トルクは次式で求めます。

Tα=JA …………（14）

Tα：加速トルク（N・m）JA：テーブル全体のイナーシャ（kg・m2）JR：負荷イナーシャ（kg・m2）JM：モーターロータのイナーシャ（kg・m2） dω──：角加速度（rad/sec2） dt

dωdt =（JR+JM）dω

dt

②摩擦トルク（Tμ）　摩擦トルクは次式で求めます。

Tμ：摩擦トルク（N・m） W1：ワーク質量（kg）W2：テーブル可動部質量（kg）F2：テーブル移動時にかかる力（N） μ：動摩擦係数　P：ボールねじリード（mm） η：ボールねじ効率

③負荷トルク（TL）　負荷トルクは次式で求めます。

TL= ……………………（16）

TL：負荷トルク（N・m）　F1：外力（N）P：ボールねじリード（mm）η：ボールねじ効率

F1P2πη×10−3

Tμ=［9.8（W1+W2）+F2］ ……（15）×10−3μP2πη

④ボールねじ起動トルク（TB）　ボールねじを起動するために必要なトルクです。

●モータ起動トルク　モータ起動トルクと所要トルクは次式の関係になります。

………………………………（17）

TM：モータ起動トルク（N・m） κ：安全率T：所要トルク（N・m）

TM≧κT

　モータ起動トルクは、使用するモータとドライバの組合わせで異なります。①ステッピングモータ　ステッピングモータの場合、モータとドライバの組合わせの特性曲線（トルクカーブ）により求めます。モータ起動トルクは、モータの周波数fとスルーイングトルクの曲線との交点のTMとなります。②ACサーボモータ　ACサーボモータの場合は、モータの最大（ピーク）トルクがTMとなります。

●実効トルク　サーボモータを使用する場合、実効トルクを算出し、定格連続領域にあることを確認する必要があります。

…………………………（18）

TRM＝ T12t1+T22t2+T32t3…+Ti2tit1+t2+t3…+ti

＝ ΣTi2tiΣti

TRM：実効トルク（N・m）

ここで

………………………………（19）

TR：定格トルク（N・m）

TRM＜TR

となります。

図I-13　速度−トルク曲線

スルーイングトルク特性曲線

トルク　T

（N・m）TM

モータ周波数f（pps）

f

図I-14　実効トルク

T1

t1t2 t7 t9t3 t4 t6 t8

T2

T3

T4

T5

T6

T7

T8

T9

t5

速度　V

（mm/sec）

トルク　T

（N・m）

時間t（sec）

POSITIONING TABLE


I-32

NB ポジショニングテーブル制御システム

●特徴1）ステッピングモータ使用の場合、オープンループ制

御のため装置構成が簡単です。ACサーボモータ使用の場合、セミクローズドループ制御のため高速応答が可能です。

2）パルスコントローラ及びドライバは超小型であり、省スペースが図れます。

3）パルスコントローラは、シーケンス機能を内蔵しており、入力48点・出力44点と豊富です。また、プログラム編集機能が多才で、操作が簡単です。

4）外部入力は、有接点・無接点入力どちらでも可能です。

フォトマイクロセンサ

XY

ドライバパルスコントローラ

I-33

パルスコントローラ仕様

呼び番号制御軸数電　　源

周囲温度及び湿度

バックアップ

外形寸法最大出力パルス

指令方式パルス出力方式

送り速度加減速時間I/O入力点数I/O出力点数

プログラム入力方式プログラム方式プログラム容量

編集機能

その他機能

NDR-A4軸

DC18〜24V0〜50℃　20〜85％（無結露）

プログラム9000ブロック及びパラメーターはフラッシュメモリーカウンタその他は電池付きRAM

W200×D50×H99（突起部取付金具は含まず）±2,000,000,000パルス

インクリメンタル指令、アブソリュート指令1パルス方式、2パルス方式

1pps〜3Mpps0〜65.533sec

48点44点

MIDキーボード方式、ティーチング方式、シリアル通信フローチャート方式10,000ブロック

作成、消去、変更、削除、挿入、コピー、早送り、表示RS232C対応、直線補間（任意軸）、円弧補間、ジャンプ機能、サブルーチン機能タイマ機能、バックラッシュ補正、連続送り、1レベル割込み、タイマ同時実行プレイバック機能、カウンタ機能、カム曲線、連続位置決め、速度多段階制御インポジション管理

※注　仕様は予告なく変更する事がありますのでご了承ください。

POSITIONING TABLE


I-34 I-35

5相ステッピングモータ・ドライバ仕様 ACサーボモータ・ドライバ仕様

【特長】1. 高機能リアルタイムオートチューニングを搭載しています。2. 小型・軽量です。3. 高速・高応答です。速度応答周波数1kHz、制振制御、ノッチフィルタ機能搭載。4. 位置、速度、トルク制御から選択できます。（出荷時は位置制御）5. 前面のデジタルパネルで制御状態をリアルタイムに表示します。また、操作

キーにより各種設定も容易に行えます。6. 専用通信ソフト“PANATERM”をインストールしたパソコンと接続すること

により、モータ動作のモニタリングや設定が可能です。7. 回生ブレーキ・ダイナミックブレーキを内蔵しています。

【特長】1. AC100 〜 240V電源入力の5相ステッピングモータ用マイクロステップドラ

イバです。2. 16種類のステップ角を設定できます。最大分割数は250分割125,000パル

ス/回転が可能です。3. 低振動機能によりフルステップ、ハーフステップ駆動時がさらに低振動になり

ます。4. 切替信号で２種類のマイクロステップ角が自由に使い分けできます。5. コネクタタイプのねじ式端子台で保守が容易です。

適用テーブルモータ分割数標準出荷時設定

NCT･NBL･NSL1,000パルス/rev ※1

MSMD012P1S1000.320.95

3,0005,0000.051

2500P/rev0.47

MADDT1205

型名定格出力（W）定格トルク（N･m）最大トルク（N･m）定格回転数（rpm）最大回転数（rpm）ローターイナーシャ（×10−4kg･m2）エンコーダー（インクリメンタル方式）質量（kg）型名制御方式ロータ慣性モーメントに対する推奨負荷慣性モーメント比電源入力

入力形態入力方式最高パルス周波数

ロータリーエンコーダ分解能

入力信号

出力信号

エンコーダフィードバック出力

保護機能

使用温度、湿度

NPT1,000パルス/rev ※1

MSMD042P1S4001.33.8

3,0005,0000.26

2500P/rev1.2

MBDDT2210IGBT PWM方式　正弦波駆動

モーターロータイナーシャの30倍以下

AC単相200V〜240V（100V仕様も御用意できます。※2）正転パルス＋逆転パルス, 方向指令信号＋パルス, A相＋B相

ラインドライバまたはオープンコレクタ2Mpps（オープンコレクタ使用時は500kpps）

（分周機能により1/50〜20倍まで変更可能、標準設定1/10 ※1）偏差カウンタクリア入力、指令パルス禁止入力、

分周てい倍切替入力、制振制御切替入力、制御モード切替入力位置決め完了出力

サーボアラーム出力、サーボレディ出力、ブレーキ解除出力A･Bラインドライバ出力（A･B相分周機能有）

Z相：ラインドライバ出力、オープンコレクタ出力過電圧、不足電圧、過速度、過電流、オーバーヒート、過負荷、回生過負荷

位置偏差過大、偏差カウンタオーバーフロー、エンコーダ異常0〜55℃　90％RH以下（結露なきこと）

パナソニック株式会社製※1：ドライバはNBにて初期設定を変更して出荷します。パナソニック株式会社様の出荷設定と異なる箇所があります。※2：100V仕様の場合型名は異なります。

入力パルス

位置制御時の仕様

ドライバ仕様

モータ仕様

適用テーブルモータ分割数標準出荷時設定

NCT300･NBL･NSL1,000パルス/rev ※1

4K-M5641.4

0.440.1750.5

KR-A535M

ドライバ仕様

モータ仕様

型名電流（A/相）ホールディングトルク（N･m）ローターイナーシャ（×10−4kg･m2）質量（kg）型名励磁方式マイクロステップ分割数電源入力

入力形態電圧最高パルス周波数内部抵抗

入出力信号

オートカレントダウン使用温度、湿度

入力パルス

NCT50〜250

3K-S5450.750.24

0.0680.31

NPT

21K-M5961.4

2.060.901.8

マイクロステップ1、2、4、5、8、10、16、20、25、40、50、80、100、125、200、250

AC100V〜220V 3.5A正転パルス＋逆転パルスまたは方向指令信号＋パルス

H＝4〜8V　L＝0〜0.5V500kpps270Ω

分割数選択入力、モータ励磁OFF入力原点励磁出力

27〜90％（標準設定値　50％）0〜40℃　85％RH以下（結露なきこと）

株式会社テクノドライブ製※1：ドライバはNBにて初期設定を変更して出荷します。株式会社テクノドライブ様の出荷設定と異なる箇所があります。

特殊仕様について標準品以外の特殊形状テーブル・高精度・高分解能タイプなどの特殊品についても設計・製作いたします。

POSITIONING TABLE


I-36 I-37

構造と特長

ポジショニングテーブル NBN形

用途各種チャンバー内装置に最適、他に各種電子部品製造装置、計測器レーザー加工機、半導体製造装置、産業用ロボット、自動加工機、撮影機‥

図I-15　従来品との高さの比較

当社従来品 NBN形

24%DOWN

図I-16　ピッチング・ローリングの影響の比較

大θ

小

従来品

NBN形

　新発想による2軸平行駆動軸のXYテーブル。

Nコンビネーションシステム　従来のXYテーブルと異なりX方向に対して45°傾斜させて配置したガイドにより、X方向の運動をY方向に変換する画期的な構造（特許出願中）となっています。これにより、ボールねじを2軸平行かつ同一高さに配置することが可能になりました。

広いワークエリア　テーブル上面に広いスペースを取れることにより、多彩な作業スペース、取付け方法を確保できます。

並列配置されたモータ　2軸のモータが並列に配置される構造により、各種チャンバーなどの特殊環境中にテーブルを容易に設置することが可能になります。　またモータが移動しないのでケーブル断線の心配がありません。

低重心・高精度　テーブル高さが従来のXYテーブルに比べて24％ダウン

（図I-15）この効果により、ピッチング・ローリングの影響が少なく（図I-16）、高精度な運動が可能になります。

精　度

表I-4　精度単位／μm

呼び番号位置決め

精度繰返し

位置決め精度平行度A バックラッシュ直角度

NBN 50NBN100NBN200

10

1530 ±3 3以下 30（※）

※直角度は静止時の保証値であり、移動中は適用しません。

図I-17　NBN形の構造

POSITIONING TABLE


0.4 50

200500200500200500

50×50

100×100

200×200

471.7443571.7543771.7770.5

350

450

650

365

415

565

210

260

360

320

370

814 814 822

113.7 79113.7 79113.7 98.5

130

120

150

−

150

250

I-38 I-39

NBN 50-5MNBN 50-ACNBN100-5MNBN100-ACNBN200-5MNBN200-AC


mm（X×Y）

主要寸法

呼び番号

最高速度

Vmax

mm/sec

加減速時間

（0 〜 Vmax）sec

水平可搬質量

kg

P2

mm

ボールねじ

リード

mm

最大イナーシャ

×10−4kg・m2ストロークエンド

（O.T.1,O.T.2）原点前

（PORG）


質量

kg

センサ

10

0.98

1.27

2.132.30

16K-G569WMSMD022P1S16K-G569W

MSMD022P1S16K-G569W

MSMD042P1S

SGL15TF,SGL15TE,SGW21TE

フォトマイクロ

フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相

48.547.560.559.098.097.5

最高速度はX方向もしくはY方向にのみ移動する場合の値です。複合した移動の場合には最高速度が変化します。水平可搬質量は質量位置がテーブル中央部の場合の値です。また、加減速時間により変化します。イナーシャはボールねじとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。イナーシャはテーブル動作状態により変化します。ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。

NBN形

呼び番号の構成

例）NBN 100

NBN形有効ストローク

5M：5相ステッピングモータAC：ACサーボモータ

AC-

P1

mm

M

mm

L

mm

W

mm

F

mm

E

mm

B

mm

A

mm

N2N1 Q

mm

D

mm

4

8

8

300

350

2

2

4

25

75

25

X

0.57

0.74

1.191.35

Y

※X軸ORGセンサ

※Y軸ORGセンサ

Y軸モータX軸モータ

Y軸O.T.2センサ

X軸O.T.1センサ

X軸O.T.2センサX軸PORGセンサ

Y軸O.T.1センサY軸PORGセンサ

D150

D

F33.5 56.5S/2S/2

41.5

10

23.5

Q WE

110

S/2

S/2

P2

P1

P2P1

LBA

M

N1-M6深さ10

（N2＋1）×2 -M6用取付穴

N2×150

※部ORGセンサはステッピングモータータイプに適用します。

POSITIONING TABLE


I-40 I-41

Nコンビネーションシステムプログラム方法

　NBポジショニングテーブルNBN形はその構造上、コントローラのプログラム方法が通常のX-Yテーブルと異なります。移動先の相対座標と各軸の相対送り量の間の関係を表I-5に示します。

XY

X＋Y

表I-5 　各軸の相対送り量

（X,0）（0,Y）（X,Y）

X0X

テーブル相対送り量

X軸相対送り量

Y軸相対送り量

NBN 形はプログラム例に示すとおり、駆動する軸と移動する軸が一致しない場合があります。そのため各軸のO.T.センサは XY 両軸のリミットセンサとして使用することを推奨します。

（取扱い上の注意参照）

基準位置

X

Y

←X軸

←Y軸

プログラム例4ワークテーブルの移動量X 方向に＋ 50mmY 方向に− 30mm各軸に入力する移動量・X 軸＋ 50mm・Y 軸＋ 20mm

プログラム例1ワークテーブルの移動量X 方向に＋ 50mm各軸に入力する移動量・X 軸＋ 50mm・Y 軸＋ 50mm

プログラム例5ワークテーブルの移動量X 方向に− 50mmY 方向に＋ 30mm各軸に入力する移動量・X 軸 − 50mm・Y 軸 − 20mm

プログラム例2ワークテーブルの移動量Y 方向に＋ 30mm各軸に入力する移動量・X 軸　 0mm・Y 軸＋ 30mm

プログラム例6ワークテーブルの移動量X 方向に＋ 50mmY 方向に− 50mm各軸に入力する移動量・X 軸＋ 50mm・Y 軸　 0mm

プログラム例3ワークテーブルの移動量X 方向に＋ 50mmY 方向に＋ 30mm各軸に入力する移動量・X 軸＋ 50mm・Y 軸＋ 80mm

モータ・ドライバ仕様

5相ステッピングモータ・ドライバ仕様【特長】1. AC100V電源入力の5相ステッピング

モータ用マイクロステップドライバです。2. 16種類のステップ角を設定できます。

最大分割数は250分割125,000パルス/回転が可能です。

3. 低振動機能によりフルステップ駆動時がさらに低振動になります。

4. 切替信号で2種類のマイクロステップ角が自由に使い分けできます。

5. コネクタタイプのねじ式端子台で保守が容易です。

ACサーボモータ・ドライバ仕様【特長】1. 高機能リアルタイムオートチューニング

を搭載しています。2. 小型・軽量です。3. 高速・高応答です。速度応答周波数

1kHz､制振制御､ノッチフィルタ機能搭載｡4. 位置、速度、トルク制御から選択できま

す。（出荷時は位置制御） 5. 前面のデジタルパネルで制御状態をリ

アルタイムに表示します｡また､操作キーにより各種設定も容易に行えます。

6. 専用通信ソフト"PANATERM"をインストールしたパソコンと接続することにより､モータ動作のモニタリングや設定が可能です。

7. 回生ブレーキ・ダイナミックブレーキを内蔵しています。

モータ分割数標準出荷時設定型名

電流（A/相）ホールディングトルク（N・m）ロータ慣性モーメント（×10−4kg・m2）

質量（kg）型名

励磁方式マイクロステップ分割数

電源入力入力形態

電圧最高パルス周波数

内部抵抗

入出力信号

オートカレントダウン使用温度、湿度

モータ分割数標準出荷時設定型名

定格出力（W）定格トルク（N・m）最大トルク（N・m）

定格回転速度（r/min）最大回転速度（r/min）ロータ慣性モーメント（×10−4kg・m2）ロータリーエンコーダ

質量（kg）型名

制御方式ロータ慣性モーメントに対する推奨負荷慣性モーメント比

電源入力入力形態入力方式

最高パルス周波数ロータリーエンコーダ分解能

入力信号

出力信号

エンコーダフィードバック出力

保護機能

使用周囲温度、使用周囲湿度

ドライバ仕様

モータ仕様

入力パルス

ドライバ仕様

モータ仕様

入力パルス

1,000パルス/rev ※1

16K-G569W2.8A1.470.441.2

KR-535Gマイクロステップ

1、2、4、5、8、10、16、20、25、40、50、80、100、125、200、250AC単相100〜115V 6.5A

正転パルス＋逆転パルス、方向指令信号＋パルスH=4〜8V　L=−8〜0.5V

500kpps200Ω

分割数選択入力、モータ励磁OFF入力、自動カレントダウン選択入力

原点励磁出力27〜90％（標準設定値　50％）

0〜40℃　85％RH以下（結露なきこと）

1,000パルス/rev ※2

MSMD022P1S2000.641.91

0.14

0.82MADDT1207

MSMD042P1S4001.33.8

0.26

1.2MBDDT2210

3,0005,000

光学式インクリメンタルエンコーダ・2,500P/rev

IGBT PWM方式　正弦波駆動モータロータイナーシャの30倍以下

AC単相200V 〜 240V（100V仕様も御用意できます。※3）正転パルス＋逆転パルス、方向指令信号＋パルス、Ａ相＋Ｂ相ラインドライバまたはオープンコレクタ2Mpps（オープンコレクタ使用時は500kpps）

（分周機能により1/50 〜 20倍まで変更可能、標準設定10/1 ※2）偏差カウンタクリア入力、指令パルス禁止入力、

分周てい倍切替入力、制振制御切替入力、制御モード切替入力位置決め完了出力

サーボレディ出力、サーボアラーム出力、ブレーキ解除出力A･Bラインドライバ出力（A･B相分周機能有）Ｚ相：ラインドライバ出力、オープンコレクタ出力過電圧、不足電圧、過速度、過電流、オーバーヒート、過負荷、回生過負荷、

位置偏差過大、偏差カウンタオーバーフロー、エンコーダ異常0 〜 55℃　90％ RH以下（結露なきこと）

位置制御時の仕様

株式会社テクノドライブ製※1：ドライバはNBにて初期設定を変更して出荷します。　　株式会社テクノドライブ様の出荷設定と異なる箇所があります。

パナソニック株式会社製※2：ドライバはNBにて初期設定を変更して出荷します。　　パナソニック株式会社様の出荷設定と異なる箇所があります。※3：100V仕様の場合型名は異なります。

POSITIONING TABLE

I-42

取扱い上の注意

　NBポジショニングテーブルNBN形は平行度・位置決め精度等を、高精度で追求した精密位置決めテーブルです。テーブルの設置や、積載物を載せる時は衝撃等がかからないよう細心の注意を払ってください。　テーブルを取付・運転する際は、仕様書ならびにドライバ取扱い説明書、コントローラ取扱い説明書、関連装置の説明書もあわせてお読みください。1. 積載位置

●NBポジショニングテーブルNBN形は構造上、テーブル部が通常の製品よりも広くなっていますが積載物は取付タップの範囲内に重心がくるように載せてください。

2. 給油●推奨給油間隔は走行距離1,000kmもしくは6 ヶ月（24時間運転の場合は3 ヶ月）のいずれか短い期間とします。●給油方法はガイドおよびボールねじ各箇所の転走面に適量を塗布し、テーブルをストロークさせることにより塗

り広げてください。3. 保証

3.1 保証期間●保証期間は納入後1.5年間もしくは試運転完了後1年間の内、いずれか短い期間とします。ただし、正常な使用

状態以外で生じた不具合や、弊社に無断で分解された場合はこの範囲から除外します。●保証期間内外に関わらず修理、オーバーホール等には応じますが、弊社工場に送り返して頂いての対応となり

ます。3.2 保証範囲●保証期間中に弊社の責任により故障を生じた場合には、本製品の交換、または修理に限って応じさせて頂きま

す。なお、保証とは製品単体の保証を意味するもので、本製品の故障により誘発される損害については御容赦ください。

4. O.T.センサについて●NBポジショニングテーブルNBNは駆動する軸と移動する軸が一致しない場合があります。そのため各軸の

O.T.センサはXY両軸のリミットセンサとして使用することを推奨します。このためのオプションとして下記プログラムリレーを用意しております。

特殊仕様について標準品以外の特殊形状テーブル・高精度・高分解能タイプなどの特殊品についてはNBにご相談ください。

　PLCで制御を行なう場合には各軸のO.T.センサがXY両軸のリミットセンサとして機能するようプログラムを組むことを推奨します。下記ラダー図（O.T.センサがB接点の場合）をご参照ください。

（オプションのプログラムリレーには下記ラダー図のプログラムが入力されています。）

X軸O.T.1

X軸O.T.2

Y軸O.T.1

Y軸O.T.1

Y軸O.T.2

Y軸O.T.2

Y軸O.T.1

Y軸O.T.2

X軸LIMOUT1

X軸LIMOUT2

Y軸LIMOUT1

Y軸LIMOUT2

型名電源電圧と入力電圧

入力出力

アナログ入力機能

ZEN-10C1DT-D-V2 DC12 〜 24V

6点4点（トランジスタ）

ありオムロン株式会社製

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