1 Microelectronics Processing Course - J. Salzman - 2006 Microelectronics Processing Diffusion.
Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging
Transcript of Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging
![Page 1: Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging](https://reader031.fdocuments.us/reader031/viewer/2022020202/575022431a28ab877ea3efa4/html5/thumbnails/1.jpg)
��������� ��� �� ��� � ��������� �� ���������������� ���������
���� ��������� ��� ����� �� � ������
�������� � ��� �� � � ���� ������ ����� � ������� �������� � �������� ���� ���� ��������� ��� !� ��� ��� ���� ���������������� � ��� �� � � ���� ������ ����� � "��#���� ��� �� � � ���� ���� ������ � �������� ���� ���� ���������
��� !� ��� ��� ���� ���������$% �#��� ������� "& ' �( )�* � ( !��(� � �+� � ' �������� ,������ %����� �#���� � ��������
����� � ! ����� !""#$ ������� !! %����� !""!
��������
�&� ����������� �&��� '()* ����� �� ������ ���� ���� ���������+���� ��� �� �� ���������������� ��������� ����� ��
�&� ��������� �� ���,�& �� ��� � �������������� �&�� ����� ������� �&� ��� �� �&� ��&� ���� �� �&� () ����� �� �&� ��� �
���� �&�� ,��� ���-���� �� �������� ������ ���� �� �� ./0 &� (�������� �&� () ����� ��������� ,��& ���� ������ ����� �����
#1! &� �� �� ��� � ������������� ���,�& �&�� &�� �������&��� �&� ������� 2�,� ��� () ����� �������� �����3����� ����
#./�4 �� �� #1! & �� 1/�0 �� �� 3��� ���� ������ ������ ./0 &� �&� ������ �� �&���+����� ��������� �&�,� ������� ��������
���� ����� !55 &� ������ �� �������� �������� ��������� ')6�* �� ������ ����&���� �&�,� �&� � ����� �� ����� �� �&�
��������� ��� �����&�� �� ����� ��� � ��������� �� �&� �������� ���� ��������� �� &��&�� ���� ������ )������ ������� ��
����+����� ��� �� ����� 7+�� �&����������� ����������� '78)* ������� �&�� �&� ������ ,��� �� �� ������ ���������
�������� �� ��������� �&�� &�� ���� ��������� � ������� �&� ������������� �� ��9 �� �&� ������� ���� ���� ,�� ���� ��
�� �������� �� &��&�� ������ ����� �� ����&� #"": �� ./0 &� �&��� ������� ������� �&�� �&� ��� � ��� &� ����
,������ � ������ ��������� �������� �� ����� ��� ��������� �� ����� �&� () ������ � !""! 6��� ��� )������ ;�<� ��
���&�� ����� ��
���+����- ������ �$ )&��� �����$ )����� ��������� ��������
� ���� ������
8������ �� ����������� &��&�� =����� ��� �����
��� �� �� �� �������� �� ���������� ��,�����
����� �� �&� �������� ����������� ������� (� �����+
����������� ���������� ��� ,��� �� �&� ���� ����������
������������ ��������� ��� �� �&��������� ,��� ���+
��� ���&��=��� 2�,� ��� �&��� ��� �������� ������
���� �&�� �&� ���������� ��������� �� ��� ,��� ,��
��������� ,��& ��� ��������� ��� ��������� >#�?@�
�&� ����� �� ��&������ ���������� ����� �&� ���������
�� �&� ����� �� ������ ���� ������� ������ &�� �����
��������&� ������ �� ��� �� �&� ���� ��������� ��� �&�
,��� ������ �� ��������������� ���������� �&�� �� ��
�� ��� ��, ���� �� &��& ���������� ������� �� ���+
���� �� ��� �� ���������� �&� � ������� �� ������
� �� ��� &� � ���� �A����� �� ������� >4�5@$ ������
&�� &��& �&����� ������� ��� ��, ���������� ����������
�� &��&�� �������� ��� ����,��� ��� ����� ,���
�������� ,&��& ���� �� ����� �� ��B� �� �� ����&�
�&��� ��� �������� ��� ��������� ������� � ��������
,&��� ������������� ��,�� �� ��� �&� ������� ��B�
������� �� ��,�� ���� �� ,�� �&� ��������� � �������
����� )������ )������ #1# '!""!* 0/�/?
� ������������ ���&��� 8������ �����C 8#4".� ���������� ��
6���������� 6����������� ��� D�� ����� �� 2��� E���� 5? ���
�&�� ����� E�,����� 2��� E����
,.#��� �������- �,���F�����������&� '���� ���*�
"#01+4??!G"!GH � ��� ����� ������ � !""! 6��� ��� )������ ;�<� �� ���&�� ����� ��
8((C ) " # 0 1 + 4 ? ? ! ' " ! * " " # . " + !
![Page 2: Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging](https://reader031.fdocuments.us/reader031/viewer/2022020202/575022431a28ab877ea3efa4/html5/thumbnails/2.jpg)
2�,� ��� ������A�� �� ���� ���������� ���& ��
���������� ����������� ���������� ������������ ����
I�� �&�� ������� �&����� �� �������� ����� �&� ����
�� �&� ������� ��� ������� �&� ����������� �� ������
,��� ������ &�� ���� ������ �C
'#* ��������� �� �A������ �� �&� ���� ������ ,����
��������� �� ��� ��� ������ �����������
>1�#"@�
'!* )������ ���������G�� ������ ������� ����� ���������
�&� ���������� ������� �� �� ������ �&� ����������
����������� >.�/�##�#!@�
(����3������ �� ��������� ����� �� ��������� ���+
���� �� ���������� ���������� �� � ���� �� �����+
���� ��� �������� � &��& ����� �� ���������� �� �&�
���������� ������ ,&��� ���& ���������� �� � ����
��� �������� >#?@� ������� �� 6���� �� ��� >#"@� ��
� ������� ���������� � ��� ���� ������ �� �&� ��������
�� ��������� �&���� �� ;��� >1@ ������� �&�� ���+
������ ������������� 3��� ,��& ������ ������� ���
���� �� �A&���� &��&� �������� ������� �� �&� ���+
����� �� �������� �� �� ��� ���� ������ �� ���������
���������� �!�� �&��� �&��� ����������
�&�� ��� �� ������� �� ��������� ����������� ��
&���� ����� ��� ��������� ��� ��3���� �� ���� ��� ��
�� ��� �������� �������� ���3���� �� �&� ����+
��������� I�� �&��� �������� �� �� �������� �� ���
���������� ���� �� ��&�� �� ���������� ������ �������
�� ����� ��������� ��������� �������� ����� �� �&�
��������� �� � ������ >#4@�
�&� ������������� �� � �������� �� ������+���������
�������� �� ������� � ��� �&������ ������������
������������ ����������� �� ������� ����������� ��
����������� �� ������������� ���������� �������������
�� �������� �� �&� �&��� ��������������� �&��� ���+
���� ����&�� �������� ,��& �&� �� ���������� �������+
���� �� ������ �� ������ ���� �� ��������� 8������
���������� �� �� ���� ��� ����� �� �&� ������
��������� �������� �&� ����� ��� ������� �� &��&
���������
��� ������� ��� �� �&�� ������� ,��� ���� �
������ ������ �� )��9��� ,��& ��� ������ �&��
���� ���� ���� ���� ����� 45" & �� ������� � ����
>4@� �&�� ����� ������� �&� ����������� �� �������+
������ �&��������� ������ ,��� ���� � ����
�&�� ,��� ���� ���� � �������� ������ ����������
���� ���� &��& �������� ,��& ��������� �&� ���+
����������� �� ��������� �+������� ,��� ����� �
7+�� �&����������� ����������� '78)*� �� �&�
����&���� ,�� ����� � �������� �������� �����+
���� ')6�*� �&� ������ �� ��������� �� ���� �&���
����� &�� ���� ���� ��������
� ������������
������ ,��� ,�� ���� �&������������ �����
)&����,� )��+?. ,��� ������ (� ,�� ���� ��
?." �� �� �� �� �������� ,��& #�" �G��� �������
��� J�, ����� ����� #5" �� ��� ����� �� #!" ��
���������� ��,��� �&� ,��� ���� ���� ��������
������ �&����� �� #!# �� �� #"": ������ � &�����
'%6�6� )����� K�� !!* ��������� ����� ,���
������ �������� ���� ������ ������ ��� 10� #1!�
!55� ?54 �� ./0 &�
/(0( ' �������� ����� ����
;��� �&��� ������� ;�� ����+?" 'E����� ���&���+
��*� ,��& ����� ������ !"" ��� �� ������ ������ #"� ,��
��� �� ������� �&� ���� �&��� ����� �� 5" �������
���� ���& ������ ������ �&� �&��� ���� �� ���������
����� !�. �� ��� � �&� ��� ���
/(/( �� � � ������� #���������
)6� ,�� ��� �� ���� ��� �������� �� ���&������
������� �� �&� ������ ���������� ���� �� �� ������
��������� �����&�� �� ����������
/(�( 1.��� ������������ ������������
78) ������� �&������ ������������ �� �&� �����+
���� ����� "� #1!� ?54 �� ./0 & �� ������� � ����
�&����� ,��� �A����� ����� 7) �+2) �������+
����� ���� E� �9) ������� ������������ �����
,��& � �� E� 7+�� ���� ������ '#!.?�0 �<*� �&�
������ ,���� ,��� �����+��� ���� �+���� ��� ��
�� �A���� �&� ���� ���� ��� �������� �&� �������+
����� ,�� ��������� � ����� ����� �� ���� �
������� ;����� ����� ';6* ��� � ����� ,�� ������
��� �� �&� ����� ���� ?" �� ##.?�0 �< �� ���� �����
#0" �<� ,&��� �����, ���� �� �&����������� ����� ���
� #�� 9 #�� �� !�� )� !� �� � !� �� �� �&�
��������� ����� �� ;6 ,��& ���� ����� !" �<�
���� ��B� �� # �< �� ,��� ���� "�# � ��� ����� 7+��
05 "(2( �� �� ��( 3 ������� ����� ��� �� 040 )/ /* �565�
![Page 3: Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging](https://reader031.fdocuments.us/reader031/viewer/2022020202/575022431a28ab877ea3efa4/html5/thumbnails/3.jpg)
������� ,��� �������� �� #" � �� #4 �<� �&�
������� ��� ,�� ��� �� �������� ����������� �&�
�������� �� �&� ������� �&����� ����� �&� �������
,�� ��������� �� ����� 4� #"�1 ����� �� ����+�� ��
������� ,��� ���� ����� ���� L������� ���������
����� ,��& �&������ ������ �� ��� ;6 �������� ����
�� �#� �� !54�. �<�
� ������� �� ���������
�(0( ' ����
�&� () ����� �� ������� � ����� ������ ,��� ���+
��� �� �&�,� �� I��� #� �&� ���������� ��������� ��� ()
����� �� �� �� � ��� �� �� ." �� >4@� �&�� ��� �&� ��A
������� �� I��� # ��� �������� (�������� () �����
��������� ���� #?" �� �� ����� #./�4 �� ����� #1! &
�� �������� ������ ����� 2�,� ��� �&� �&��� �����
������ �� ����� ����� !55 & �� ����&� �����
1/�0 �� ����� ./0 & �� �������� ������ ����� �&�� ������
�������� �&�� �&� ������ ��������� &�� ���� ,��+
���� � ��������� �� ��� � ������ ���������� �&�
��������� ������ ������� ���� �� ��� ����� ?54 & ��
������� � �&������
�(/( ����.� ����� ������� �
I��� ! �&�,� �&� ������ �� �&���+����� ���������
��� ������ ,��� ������ �� � �� ������� � ������
������ �&� ��������� ������ ��������� ���� " �� " & ��
��A����� . �&���+����� ��������� �� !55 &� ����
�&�� ������ ��������� ������ ������ ������� ��
����&�� " ����� ����� ./0 &� �&� ������� ���������
������ !55 & �� ������� �� �� �&� ���� ��� �
������������� ��������� ���,�& ,��& ����� �&�� ����
���� ���������� �&� �&��� ����� ���� �&��� ���� ��
�������� �� �&�� ���� �� �&���+����� ����������
2�,� ��� �&� �������� �� ��������� ������ �� ����
������� �� �� ��������� �� ��� � ���������� �&��
,������ ������ ���� �� ����� ��� ����� � �&���
���� ,��&��� ������� �&� ������ ����� �� �&� �&���
����� 'I��� #* �� ��������� ������ 'I��� !* �������
����� !55 &�
�(�( ����������
I��� ? �&�,� �&� ������ ���� �� ������� '" &*� !55� ?54
�� ./0 & �� ������� � ����� �&� ����������������
��������� �� " & ,�� ������ �����$ &�,� ��� ������� �
���� ��� �� � ������� � �� �������� �&�� ������
�&� ������ �������� ���� ,���� ����� ���� ���� ��
�&�� �&� ������ ���������� ����� �� ������������+
���� ��������� ,�� ����� � ����� ?54 & �� ������� �
����� �&�� ����� ��������� �� ����&� ����������+
������ ������ ����� ./0 &�
�(�( "��#���� � ������
)������ �&������ ����������� ����� � 78) ���
������ ������ ������ �� ������� � ���� �� �&�,� ��
����� #� �&�� ������ �������� �&�� �&� �A���� ���
I��� #� �&� �&��� ����� �� ������ ,��� ������ �&�� �������� ������� � �����
"(2( �� �� ��( 3 ������� ����� ��� �� 040 )/ /* �565� 01
![Page 4: Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging](https://reader031.fdocuments.us/reader031/viewer/2022020202/575022431a28ab877ea3efa4/html5/thumbnails/4.jpg)
�� �������� ����� ������� �A���� ���������� ����+
��� �� ������� �&� &��& ������������� �� ������ ��
������� �� �� ������� �������������� �&�� ��
������� �&� �������� ,�� ����� �� ���� 2�,� ���
�&� ���������� �� ������ ,�� ����� ����� ����
���� ������� � ���� ������� ������ ,��� ����� ,��&
�A��� �� ��� �� ���� �9 �� �9!�
I��� 4 �&�,� �&� ��������� �A�� ������� �� �&�
������� �� �&� ��������� �� � �� ������� � ���� ���+
��� ������ �&� �������� �� ��������� �A�� ������� ��
�&� ������� ��� ���� ������ ����� ��� � #1! & ��
����� � �� �� �� �� �&� �������$ � �A�� 3�� &�
���� ������ � &��& �������� �� ����������� ���+
����� �&�� &� ���,� ������ ,��& �A��� �� ���� �
�A���
����� # ���� �&�,� �&�� �&� ������������� �� ������
�� �&� �A���� ���� ���� ��������� �� 4: ����� ./0 &
�� ������� � ����� �&� ��� �� ,�� ����� ����� �&�
���� &�� ���� �����+��� ���� ��� �&�������� �&� �������
��, �������� �� ������ ������������� �� ������� ��
������� ���� �&� ��� � ������ ���������� 2�,� ���
�&� ������ ������ �� #1! & �� ��� � �� ����� �&�
�+������ �� ������ ,��� ��������� ����� ������� �
���� �&�� ������ �� ����� �� �&� ��� ���
(� I��� .� 78) ���� �� ;6 1??�" �< �� �� !�?G! ��
;6 1.?�" �� �� !�#G! >#.@� I��� .� �&�,� ;6 �� ��9
�� ��'92*! �� �� ����� �� ���& ��&��� ,&���
��9 � 1??�0 �<� ���92�! � 1?.�# �< �� ��" �1?!�/ �<� � " &� ������ �A�� ����� ,��� �� ��,
I��� !� �&� ������ �� �&���+����� ��������� �� ������ ,��� ������ �&�� �������� ������� � �����
I��� ?� )6� ���������&� �&�, ��������� �� ������ ���� �&��
������� �� ���� �� �&� ���� &��� ��������� '�#"""*�
����� #
�&� ���������� �� ������ ������������� �� �&� ����� �������� ��
�&� ���� ������� ������� � ���� ������ ������
6������ ����� ������������� ':*
" & #1! & ?54 & ./0 &
������ '�* 0! 45 40 ."
9A��� '9* !? !? !4 !?
�������� ' �* #" !. !/ !#
)������ ')�* 4 ! " !
������ '��* # ! ? 4
/" "(2( �� �� ��( 3 ������� ����� ��� �� 040 )/ /* �565�
![Page 5: Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging](https://reader031.fdocuments.us/reader031/viewer/2022020202/575022431a28ab877ea3efa4/html5/thumbnails/5.jpg)
������� �� ?54 �� ./0 &� �&��� ��� �,� ��-�� ������
�A��� ����� � �� I��� .�� ������ ��9 '1??�0 �<*
�� ��!9 '1?!�. �<*� 2�,� ��� ��9 &�� ��������� �����
�� �&� ������ �� 14" �<� ,&��� ��!9 &�� �� ���������
>#.@� I���&������� ��!9 �� ��� ������ �� ���� ,&��& ,���
��������� �&���� �� ��9� �&�������� ��!9 �� ���
�A����� �� �� ������ �� �&� ��������� �&� ���� ��
��" ,�� ��� ������ ����� ./0 & �� ������� � ����
I��� 4� �&� � �A�� ������� �� � �������� �� �A������ ���� �� ������� ��
I��� .� �&� �����, ���� 78) ������� ��� ������ �������� ������� � ���� ���C '�* " &� '�* ?54 & �� '�* ./0 &�
"(2( �� �� ��( 3 ������� ����� ��� �� 040 )/ /* �565� /#
![Page 6: Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging](https://reader031.fdocuments.us/reader031/viewer/2022020202/575022431a28ab877ea3efa4/html5/thumbnails/6.jpg)
'I��� .�*� �&�������� �&� �&������ �&���� �� ������ ��
� ��, ������ ����� �� ������� ����� ������� � ����
,�� ���� ��" �� ��9 ����� ./0 &�
I��� 0 ���������� �&� ��������� ���� �� ������ ,���
���������� ������ ������� &�� &��&�� ���������� �&��
��9 �� " &� ,&��& �� .1 �� 4#:� �������� ��� �&�
������ �A�� '��9* ������������� �������� �������
����� ��������� ������� � ���� ��� ?54 &� � ./0 &� �&�
���������� �� ��9 ����&� #"":� ,&��� �� ��" ,��
������� I��� 0 �&�,� �&�� �&� �&���&�� ���� ��
�A������ ���� �� ������� � ���� �� ?54 & ,&��� ��
�������� &��& ���� �� ����������
8������� �&� ���������� ������ &� � �� �� ��
������� � ���������� ,&��& �� � ���, �������� ������
,��� ������ ,�� ,������ � ��������� �� �����
�&� ���������� �� �&���+����� ��������� �� &��&��
���� ������ ,&�� �&� �������� �� �������� �� �����
�������� ������ �� �&� ,��� �� ������ ����������
6���������� �&� &�� ��� � �������������� ���� ���&�
����� �&� �������� ���� �� ����� &������� �������
�&���& �&��� �������� �������� ��� ��� ������ �����&
�� ����� ������� ���������� �� ���&� ����� �� ������
������ �� ��� �� ������ ��������� ������
9A��� �� ������� �� ���� �A���� �� �&� ������� ��
�� �&� ������� �A��� ����� ,��& �&� �����+����
���� �� �������� ����� ����������� �&� ����� �� � �&��
3�� �� �A��� 6 �� �&���& �&�� 3�� �� ����������� �&�
�������� �� �&� �A��� ����� ,��� ��������� �� ���&
�� ,��� ��������� �&� ����� �� � �&��� ����������
3��� ,&��& ,��� ������ �� �&� ����������� ,��
&��&�� �� �&� ���� � ������� ������$ �&� ������� ��
�&� �A��� ����� ,��� �� ���& �� �� ������� ,��& �&�
��������� �� � �&��� ���������� �A�� >#"@� � �A��
3�� ,��� ������� ,&�� &�� ������ ���� ���� ���
)����� ��������� �������� ���� ������ � ������+
�� �� �������� � ����� � 3��� � �&� ����� �� ��������
���������� ������� ����� ������� ����� �������
� ����������
() ����� �� ��� � ����� �������� ,&�� �� ��
�A���� �� �&� ������� � ���� ���� �� !55 & �� � &��&
����������� '#!# ��* �� &��& ������ � &�����
'#"":*� �&� ������ ������������� �� ���� &�� ����
,������ � ��������� �������� �&�� ������ �&� ()
����� �� �&���+����� ��������� ����� !55 &� �&�
������ ��������� �������� �� �&� ��������� �� ��9
�� �!9? �� ������ ��������� ���������� �� �&�
�������� �� ����������� �&��� ������ �� () ����� ���+
���� �� ��� � ������ ����� ��� ������ �&���������
������ ." ��� )������ ����&���� �� �&������ �������
������� �&�, ������� �� ������ ��������� ����� ?54 & ��
������� � ����� (� �������� �� �&� 3���� �� �������+
���� � ��� �&�� �&�,� �� ������� ����� ./0 & >4@� �&��
������ ����� �������� ������ �&�� ��=�������� ��
���������� ���������� ,&��& �� #1! & �� ������� � �����
�������� �������
��&��� ,��& �� �&��� �&� 9K )������������
�������� ��� �&� ��� ����� �� �������& ���������
�� ��������� ����������� �� D�� ������ E���������
�������� ��� ����,��� �&� ��� �� ��������� �=���+
�����
����������
>#@ �� D��� E� �������� �� 9&��� <�� ��������� �� ���������� ��
������������� ������� ��C 8��������� �� �&� %���� )�6G
%)�6 ����� �� 6��������� 8��������� <��� !� #11!�
��� //#�///�
>!@ � ������ E� ��B���� �� D��� E� �������� L�� �������� ��
������������� ��������� �� �G �!9?G � 3��� %� %��� (���� ����
.1 '##* '#11.* #"1!�##"!�
>?@ 6� 8&������� 8����� ������ �� ������ )���+)���� 6�������� #?
'#1/"* #?1#�#?11�
>4@ L� 9���� �� �&��+,��� �� �������� �� ������ ,��� ������
���&������ ��C 8��������� �� �&� I���� 9K )�����������
������������� ���&����� )�������� #111�
I��� 0� ������ �A�� ������������� �� ���� �� ��������� �� �
�������� �� �A������ ���� �� ������� ��
/! "(2( �� �� ��( 3 ������� ����� ��� �� 040 )/ /* �565�
![Page 7: Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging](https://reader031.fdocuments.us/reader031/viewer/2022020202/575022431a28ab877ea3efa4/html5/thumbnails/7.jpg)
>.@ L�L� 2������ ���������� �� ���� 8������� �� ����
;����� �� ����������������M�&� ���������� �� ���������
�� (�������� )������� (������������ )����� ��� 2���
����������������� D) � #151�
>0@ E� ���B�,�� E� I�-���� )� �������� �� ����� �� ����+
���� �� ������ ,��� ������ ����������� ���&������ (666
������ ������� 2��� ������ ���&���� #? '4* '#11"* /0!�
/0/�
>/@ N��� K����� �� �������� ��� ������� K�L� 8�����
9����������� �� ������ ,��� ������ �� ���� �������B������
(666 ������ ������� 2��� ������ ���&���� #5 '!* '#11.*
4!?�4!1�
>5@ ��%� ���������� ��<� ������� N� � ;��������� 6����� �� &���
��������� �� �&� �&��� �������& �� �������� ���� �� ������
,��� �&��������� ���� ���� �� ��#: )� � ��� �������B�+
����� (666 ������ ������� 2��� ������ ���&���� #? '?*
'#11"* .5/�.1#�
>1@ )� �&����� 2��� ;���� �������������� �� ���� ������
���� (666 ������ ������� 2��� ������ ���&���� #" '!*
'#15/* !.!�!./�
>#"@ 8��� 6����� �� �������� �� ;����� ��, ������� ���&����� ��
��� �� ��������� �� ������� ����������� (�O� ����
������������ &����� �� ���� ������� 8���� �� ??� (666
6��������� ����� ����� (666 '#15?* !4.�!.!�
>##@ �� E��&� �� ���&����� �&������� ��� ������� ���&������
��C 8��������� �� �&� !4�& ����� 8������ ����������
8&����� ����������� #150� ��� ..�0"�
>#!@ L�<� �����������&� 2�E� �&������ �&� ������ �� &��&
����������� ������������� ���,�& �� ���� �&���+�����
���������� (666 ������ ������� 2��� ������ ���&���� #?
'#* '#11"* #0/�#/.�
>#?@ %� L� ���� ��� ������&������ �����3������ �� ���������
������ �������� �� ���������� ����������� ��C 8���������
�� �&� )�O� �&�� ���������� �� 6��������� 8��������C
��������� �� 8�������� �� ��������� �� �����������������
)� (������������� D) � #15/� ��� 0?�/"�
>#4@ ���� ;�����&��� %�N� �������� ������ �� ���������
�������� �� �������� ���������� �������� ��C 8���������
�� �&� )�O� �&�� ���������� �� 6��������� 8��������C
��������� �� 8�������� �� ��������� �� �����������������
)� (������������� D) � #15/� ��� 4#�45�
>#.@ I��� %�&�� I�)� �������� 6�)� 8����� ��;� E�����&� ��C %�
�&������ '6�*� 2������ �� 7+�� 8&����������� )������+
����� 8����� 6����� 6�� 8������� #11!�
"(2( �� �� ��( 3 ������� ����� ��� �� 040 )/ /* �565� /?