Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging

7
Corrosion study at Cu±Al interface in microelectronics packaging C.W. Tan a,c,* , A.R. Daud a , M.A. Yarmo b a Faculty of Science and Technology, School of Applied Physics, Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia b Faculty of Science and Technology, School of Chemical Science and Food Technology, Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia c ON Semiconductor, SCG Ind. (M) Sdn. Bhd., Senawang Industrial Estate, Negeri Sembilan, Malaysia Received 2 August 2001; accepted 22 January 2002 Abstract The interfacial shear (IS) force of copper ball onto aluminium-based bond pad in microelectronics packaging depends on the formation and growth of Cu±Al intermetallic. This paper reports the study on the behaviour of the IS force of the Cu±Al bonds that were subjected to pressure cooker test up to 576 h. Initially, the IS force increases with test readout point until 192 h, due to Cu±Al intermetallic growth that has strengthened the bonding. However, IS force decreases signi®cantly from 157.4 gf at 192 h to 97.6 gf at ®nal test readout point, 576 h. The number of shear-induced cratering shows similar reduction trend after 288 h. Result of scanning electron microscopy (SEM) on bonding morphology shows the evidence of crack at the aluminium bond periphery or outer Cu±Al interface and the cracking trend continues at higher time point. Surface analysis of ball-peeled bond pad using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) indicated that the cracks were due to stress corrosion cracking at aluminium that has been stimulated by copper. The concentration of CuO at the surface bonded area was found to be increased at higher readout point and reached 100% at 576 h. These results indicated that the Cu±Al bond had been weakened by stress corrosion cracking at outer bond interface and reduced the IS force. # 2002 Elsevier Science B.V. All rights reserved. Keywords: Autoclave; Shear force; Stress corrosion cracking 1. Introduction Products of increasingly higher quality are being made in an environment of continually lowering costs in the consumer electronics industry. In micro- electronics packaging, gold wire is the most successful interconnect materials used in thermosonic wire bond- ing technique. However, there are numerous studies found that the reliability degradation of gold wire was associated with bond interface voids formation [1±3]. The demands in enhancing reliability raise the attention on the focus on copper ball bonding. Copper has rapidly established itself as one of the main materials for the wire bonding in microelectronic packaging. This is due to its low cost and high electrical conductivity com- pared to gold or aluminium. The advantages of copper over gold have been extensively reported [4±8]; copper has high thermal conductivity, low electrical resistance and higher breaking load allowing for reduced wire diameter, which leads to reduced pad size and pad pitch. These are critical for packaging process development where manufacturers always go for the smaller size package and lower cost to win the competitive market. Applied Surface Science 191 (2002) 67±73 * Corresponding author. Present address: P1405, Department of Electronics Engineering, City University of Hong Kong, 83 Tat Chee Avenue, Kowloon, Hong Kong. E-mail address: [email protected] (C.W. Tan). 0169-4332/02/$ ± see front matter # 2002 Elsevier Science B.V. All rights reserved. PII:S0169-4332(02)00150-2

Transcript of Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging

Page 1: Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging

��������� ��� �� ��� � ��������� �� ���������������� ���������

���� ��������� ��� ����� �� � ������

�������� � ��� �� � � ���� ������ ����� � ������� �������� � �������� ���� ���� ��������� ��� !� ��� ��� ���� ���������������� � ��� �� � � ���� ������ ����� � "��#���� ��� �� � � ���� ���� ������ � �������� ���� ���� ���������

��� !� ��� ��� ���� ���������$% �#��� ������� "& ' �( )�* � ( !��(� � �+� � ' �������� ,������ %����� �#���� � ��������

����� � ! ����� !""#$ ������� !! %����� !""!

��������

�&� ����������� �&��� '()* ����� �� ������ ���� ���� ���������+���� ��� �� �� ���������������� ��������� ����� ��

�&� ��������� �� ���,�& �� ��� � �������������� �&�� ����� ������� �&� ��� �� �&� ��&� ���� �� �&� () ����� �� �&� ��� �

���� �&�� ,��� ���-���� �� �������� ������ ���� �� �� ./0 &� (�������� �&� () ����� ��������� ,��& ���� ������ ����� �����

#1! &� �� �� ��� � ������������� ���,�& �&�� &�� �������&��� �&� ������� 2�,� ��� () ����� �������� �����3����� ����

#./�4 �� �� #1! & �� 1/�0 �� �� 3��� ���� ������ ������ ./0 &� �&� ������ �� �&���+����� ��������� �&�,� ������� ��������

���� ����� !55 &� ������ �� �������� �������� ��������� ')6�* �� ������ ����&���� �&�,� �&� � ����� �� ����� �� �&�

��������� ��� �����&�� �� ����� ��� � ��������� �� �&� �������� ���� ��������� �� &��&�� ���� ������ )������ ������� ��

����+����� ��� �� ����� 7+�� �&����������� ����������� '78)* ������� �&�� �&� ������ ,��� �� �� ������ ���������

�������� �� ��������� �&�� &�� ���� ��������� � ������� �&� ������������� �� ��9 �� �&� ������� ���� ���� ,�� ���� ��

�� �������� �� &��&�� ������ ����� �� ����&� #"": �� ./0 &� �&��� ������� ������� �&�� �&� ��� � ��� &� ����

,������ � ������ ��������� �������� �� ����� ��� ��������� �� ����� �&� () ������ � !""! 6��� ��� )������ ;�<� ��

���&�� ����� ��

���+����- ������ �$ )&��� �����$ )����� ��������� ��������

� ���� ������

8������ �� ����������� &��&�� =����� ��� �����

��� �� �� �� �������� �� ���������� ��,�����

����� �� �&� �������� ����������� ������� (� �����+

����������� ���������� ��� ,��� �� �&� ���� ����������

������������ ��������� ��� �� �&��������� ,��� ���+

��� ���&��=��� 2�,� ��� �&��� ��� �������� ������

���� �&�� �&� ���������� ��������� �� ��� ,��� ,��

��������� ,��& ��� ��������� ��� ��������� >#�?@�

�&� ����� �� ��&������ ���������� ����� �&� ���������

�� �&� ����� �� ������ ���� ������� ������ &�� �����

��������&� ������ �� ��� �� �&� ���� ��������� ��� �&�

,��� ������ �� ��������������� ���������� �&�� �� ��

�� ��� ��, ���� �� &��& ���������� ������� �� ���+

���� �� ��� �� ���������� �&� � ������� �� ������

� �� ��� &� � ���� �A����� �� ������� >4�5@$ ������

&�� &��& �&����� ������� ��� ��, ���������� ����������

�� &��&�� �������� ��� ����,��� ��� ����� ,���

�������� ,&��& ���� �� ����� �� ��B� �� �� ����&�

�&��� ��� �������� ��� ��������� ������� � ��������

,&��� ������������� ��,�� �� ��� �&� ������� ��B�

������� �� ��,�� ���� �� ,�� �&� ��������� � �������

����� )������ )������ #1# '!""!* 0/�/?

� ������������ ���&��� 8������ �����C 8#4".� ���������� ��

6���������� 6����������� ��� D�� ����� �� 2��� E���� 5? ���

�&�� ����� E�,����� 2��� E����

,.#��� �������- �,���F�����������&� '���� ���*�

"#01+4??!G"!GH � ��� ����� ������ � !""! 6��� ��� )������ ;�<� �� ���&�� ����� ��

8((C ) " # 0 1 + 4 ? ? ! ' " ! * " " # . " + !

Page 2: Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging

2�,� ��� ������A�� �� ���� ���������� ���& ��

���������� ����������� ���������� ������������ ����

I�� �&�� ������� �&����� �� �������� ����� �&� ����

�� �&� ������� ��� ������� �&� ����������� �� ������

,��� ������ &�� ���� ������ �C

'#* ��������� �� �A������ �� �&� ���� ������ ,����

��������� �� ��� ��� ������ �����������

>1�#"@�

'!* )������ ���������G�� ������ ������� ����� ���������

�&� ���������� ������� �� �� ������ �&� ����������

����������� >.�/�##�#!@�

(����3������ �� ��������� ����� �� ��������� ���+

���� �� ���������� ���������� �� � ���� �� �����+

���� ��� �������� � &��& ����� �� ���������� �� �&�

���������� ������ ,&��� ���& ���������� �� � ����

��� �������� >#?@� ������� �� 6���� �� ��� >#"@� ��

� ������� ���������� � ��� ���� ������ �� �&� ��������

�� ��������� �&���� �� ;��� >1@ ������� �&�� ���+

������ ������������� 3��� ,��& ������ ������� ���

���� �� �A&���� &��&� �������� ������� �� �&� ���+

����� �� �������� �� �� ��� ���� ������ �� ���������

���������� �!�� �&��� �&��� ����������

�&�� ��� �� ������� �� ��������� ����������� ��

&���� ����� ��� ��������� ��� ��3���� �� ���� ��� ��

�� ��� �������� �������� ���3���� �� �&� ����+

��������� I�� �&��� �������� �� �� �������� �� ���

���������� ���� �� ��&�� �� ���������� ������ �������

�� ����� ��������� ��������� �������� ����� �� �&�

��������� �� � ������ >#4@�

�&� ������������� �� � �������� �� ������+���������

�������� �� ������� � ��� �&������ ������������

������������ ����������� �� ������� ����������� ��

����������� �� ������������� ���������� �������������

�� �������� �� �&� �&��� ��������������� �&��� ���+

���� ����&�� �������� ,��& �&� �� ���������� �������+

���� �� ������ �� ������ ���� �� ��������� 8������

���������� �� �� ���� ��� ����� �� �&� ������

��������� �������� �&� ����� ��� ������� �� &��&

���������

��� ������� ��� �� �&�� ������� ,��� ���� �

������ ������ �� )��9��� ,��& ��� ������ �&��

���� ���� ���� ���� ����� 45" & �� ������� � ����

>4@� �&�� ����� ������� �&� ����������� �� �������+

������ �&��������� ������ ,��� ���� � ����

�&�� ,��� ���� ���� � �������� ������ ����������

���� ���� &��& �������� ,��& ��������� �&� ���+

����������� �� ��������� �+������� ,��� ����� �

7+�� �&����������� ����������� '78)*� �� �&�

����&���� ,�� ����� � �������� �������� �����+

���� ')6�*� �&� ������ �� ��������� �� ���� �&���

����� &�� ���� ���� ��������

� ������������

������ ,��� ,�� ���� �&������������ �����

)&����,� )��+?. ,��� ������ (� ,�� ���� ��

?." �� �� �� �� �������� ,��& #�" �G��� �������

��� J�, ����� ����� #5" �� ��� ����� �� #!" ��

���������� ��,��� �&� ,��� ���� ���� ��������

������ �&����� �� #!# �� �� #"": ������ � &�����

'%6�6� )����� K�� !!* ��������� ����� ,���

������ �������� ���� ������ ������ ��� 10� #1!�

!55� ?54 �� ./0 &�

/(0( ' �������� ����� ����

;��� �&��� ������� ;�� ����+?" 'E����� ���&���+

��*� ,��& ����� ������ !"" ��� �� ������ ������ #"� ,��

��� �� ������� �&� ���� �&��� ����� �� 5" �������

���� ���& ������ ������ �&� �&��� ���� �� ���������

����� !�. �� ��� � �&� ��� ���

/(/( �� � � ������� #���������

)6� ,�� ��� �� ���� ��� �������� �� ���&������

������� �� �&� ������ ���������� ���� �� �� ������

��������� �����&�� �� ����������

/(�( 1.��� ������������ ������������

78) ������� �&������ ������������ �� �&� �����+

���� ����� "� #1!� ?54 �� ./0 & �� ������� � ����

�&����� ,��� �A����� ����� 7) �+2) �������+

����� ���� E� �9) ������� ������������ �����

,��& � �� E� 7+�� ���� ������ '#!.?�0 �<*� �&�

������ ,���� ,��� �����+��� ���� �+���� ��� ��

�� �A���� �&� ���� ���� ��� �������� �&� �������+

����� ,�� ��������� � ����� ����� �� ���� �

������� ;����� ����� ';6* ��� � ����� ,�� ������

��� �� �&� ����� ���� ?" �� ##.?�0 �< �� ���� �����

#0" �<� ,&��� �����, ���� �� �&����������� ����� ���

� #�� 9 #�� �� !�� )� !� �� � !� �� �� �&�

��������� ����� �� ;6 ,��& ���� ����� !" �<�

���� ��B� �� # �< �� ,��� ���� "�# � ��� ����� 7+��

05 "(2( �� �� ��( 3 ������� ����� ��� �� 040 )/ /* �565�

Page 3: Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging

������� ,��� �������� �� #" � �� #4 �<� �&�

������� ��� ,�� ��� �� �������� ����������� �&�

�������� �� �&� ������� �&����� ����� �&� �������

,�� ��������� �� ����� 4� #"�1 ����� �� ����+�� ��

������� ,��� ���� ����� ���� L������� ���������

����� ,��& �&������ ������ �� ��� ;6 �������� ����

�� �#� �� !54�. �<�

� ������� �� ���������

�(0( ' ����

�&� () ����� �� ������� � ����� ������ ,��� ���+

��� �� �&�,� �� I��� #� �&� ���������� ��������� ��� ()

����� �� �� �� � ��� �� �� ." �� >4@� �&�� ��� �&� ��A

������� �� I��� # ��� �������� (�������� () �����

��������� ���� #?" �� �� ����� #./�4 �� ����� #1! &

�� �������� ������ ����� 2�,� ��� �&� �&��� �����

������ �� ����� ����� !55 & �� ����&� �����

1/�0 �� ����� ./0 & �� �������� ������ ����� �&�� ������

�������� �&�� �&� ������ ��������� &�� ���� ,��+

���� � ��������� �� ��� � ������ ���������� �&�

��������� ������ ������� ���� �� ��� ����� ?54 & ��

������� � �&������

�(/( ����.� ����� ������� �

I��� ! �&�,� �&� ������ �� �&���+����� ���������

��� ������ ,��� ������ �� � �� ������� � ������

������ �&� ��������� ������ ��������� ���� " �� " & ��

��A����� . �&���+����� ��������� �� !55 &� ����

�&�� ������ ��������� ������ ������ ������� ��

����&�� " ����� ����� ./0 &� �&� ������� ���������

������ !55 & �� ������� �� �� �&� ���� ��� �

������������� ��������� ���,�& ,��& ����� �&�� ����

���� ���������� �&� �&��� ����� ���� �&��� ���� ��

�������� �� �&�� ���� �� �&���+����� ����������

2�,� ��� �&� �������� �� ��������� ������ �� ����

������� �� �� ��������� �� ��� � ���������� �&��

,������ ������ ���� �� ����� ��� ����� � �&���

���� ,��&��� ������� �&� ������ ����� �� �&� �&���

����� 'I��� #* �� ��������� ������ 'I��� !* �������

����� !55 &�

�(�( ����������

I��� ? �&�,� �&� ������ ���� �� ������� '" &*� !55� ?54

�� ./0 & �� ������� � ����� �&� ����������������

��������� �� " & ,�� ������ �����$ &�,� ��� ������� �

���� ��� �� � ������� � �� �������� �&�� ������

�&� ������ �������� ���� ,���� ����� ���� ���� ��

�&�� �&� ������ ���������� ����� �� ������������+

���� ��������� ,�� ����� � ����� ?54 & �� ������� �

����� �&�� ����� ��������� �� ����&� ����������+

������ ������ ����� ./0 &�

�(�( "��#���� � ������

)������ �&������ ����������� ����� � 78) ���

������ ������ ������ �� ������� � ���� �� �&�,� ��

����� #� �&�� ������ �������� �&�� �&� �A���� ���

I��� #� �&� �&��� ����� �� ������ ,��� ������ �&�� �������� ������� � �����

"(2( �� �� ��( 3 ������� ����� ��� �� 040 )/ /* �565� 01

Page 4: Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging

�� �������� ����� ������� �A���� ���������� ����+

��� �� ������� �&� &��& ������������� �� ������ ��

������� �� �� ������� �������������� �&�� ��

������� �&� �������� ,�� ����� �� ���� 2�,� ���

�&� ���������� �� ������ ,�� ����� ����� ����

���� ������� � ���� ������� ������ ,��� ����� ,��&

�A��� �� ��� �� ���� �9 �� �9!�

I��� 4 �&�,� �&� ��������� �A�� ������� �� �&�

������� �� �&� ��������� �� � �� ������� � ���� ���+

��� ������ �&� �������� �� ��������� �A�� ������� ��

�&� ������� ��� ���� ������ ����� ��� � #1! & ��

����� � �� �� �� �� �&� �������$ � �A�� 3�� &�

���� ������ � &��& �������� �� ����������� ���+

����� �&�� &� ���,� ������ ,��& �A��� �� ���� �

�A���

����� # ���� �&�,� �&�� �&� ������������� �� ������

�� �&� �A���� ���� ���� ��������� �� 4: ����� ./0 &

�� ������� � ����� �&� ��� �� ,�� ����� ����� �&�

���� &�� ���� �����+��� ���� ��� �&�������� �&� �������

��, �������� �� ������ ������������� �� ������� ��

������� ���� �&� ��� � ������ ���������� 2�,� ���

�&� ������ ������ �� #1! & �� ��� � �� ����� �&�

�+������ �� ������ ,��� ��������� ����� ������� �

���� �&�� ������ �� ����� �� �&� ��� ���

(� I��� .� 78) ���� �� ;6 1??�" �< �� �� !�?G! ��

;6 1.?�" �� �� !�#G! >#.@� I��� .� �&�,� ;6 �� ��9

�� ��'92*! �� �� ����� �� ���& ��&��� ,&���

��9 � 1??�0 �<� ���92�! � 1?.�# �< �� ��" �1?!�/ �<� � " &� ������ �A�� ����� ,��� �� ��,

I��� !� �&� ������ �� �&���+����� ��������� �� ������ ,��� ������ �&�� �������� ������� � �����

I��� ?� )6� ���������&� �&�, ��������� �� ������ ���� �&��

������� �� ���� �� �&� ���� &��� ��������� '�#"""*�

����� #

�&� ���������� �� ������ ������������� �� �&� ����� �������� ��

�&� ���� ������� ������� � ���� ������ ������

6������ ����� ������������� ':*

" & #1! & ?54 & ./0 &

������ '�* 0! 45 40 ."

9A��� '9* !? !? !4 !?

�������� ' �* #" !. !/ !#

)������ ')�* 4 ! " !

������ '��* # ! ? 4

/" "(2( �� �� ��( 3 ������� ����� ��� �� 040 )/ /* �565�

Page 5: Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging

������� �� ?54 �� ./0 &� �&��� ��� �,� ��-�� ������

�A��� ����� � �� I��� .�� ������ ��9 '1??�0 �<*

�� ��!9 '1?!�. �<*� 2�,� ��� ��9 &�� ��������� �����

�� �&� ������ �� 14" �<� ,&��� ��!9 &�� �� ���������

>#.@� I���&������� ��!9 �� ��� ������ �� ���� ,&��& ,���

��������� �&���� �� ��9� �&�������� ��!9 �� ���

�A����� �� �� ������ �� �&� ��������� �&� ���� ��

��" ,�� ��� ������ ����� ./0 & �� ������� � ����

I��� 4� �&� � �A�� ������� �� � �������� �� �A������ ���� �� ������� ��

I��� .� �&� �����, ���� 78) ������� ��� ������ �������� ������� � ���� ���C '�* " &� '�* ?54 & �� '�* ./0 &�

"(2( �� �� ��( 3 ������� ����� ��� �� 040 )/ /* �565� /#

Page 6: Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging

'I��� .�*� �&�������� �&� �&������ �&���� �� ������ ��

� ��, ������ ����� �� ������� ����� ������� � ����

,�� ���� ��" �� ��9 ����� ./0 &�

I��� 0 ���������� �&� ��������� ���� �� ������ ,���

���������� ������ ������� &�� &��&�� ���������� �&��

��9 �� " &� ,&��& �� .1 �� 4#:� �������� ��� �&�

������ �A�� '��9* ������������� �������� �������

����� ��������� ������� � ���� ��� ?54 &� � ./0 &� �&�

���������� �� ��9 ����&� #"":� ,&��� �� ��" ,��

������� I��� 0 �&�,� �&�� �&� �&���&�� ���� ��

�A������ ���� �� ������� � ���� �� ?54 & ,&��� ��

�������� &��& ���� �� ����������

8������� �&� ���������� ������ &� � �� �� ��

������� � ���������� ,&��& �� � ���, �������� ������

,��� ������ ,�� ,������ � ��������� �� �����

�&� ���������� �� �&���+����� ��������� �� &��&��

���� ������ ,&�� �&� �������� �� �������� �� �����

�������� ������ �� �&� ,��� �� ������ ����������

6���������� �&� &�� ��� � �������������� ���� ���&�

����� �&� �������� ���� �� ����� &������� �������

�&���& �&��� �������� �������� ��� ��� ������ �����&

�� ����� ������� ���������� �� ���&� ����� �� ������

������ �� ��� �� ������ ��������� ������

9A��� �� ������� �� ���� �A���� �� �&� ������� ��

�� �&� ������� �A��� ����� ,��& �&� �����+����

���� �� �������� ����� ����������� �&� ����� �� � �&��

3�� �� �A��� 6 �� �&���& �&�� 3�� �� ����������� �&�

�������� �� �&� �A��� ����� ,��� ��������� �� ���&

�� ,��� ��������� �&� ����� �� � �&��� ����������

3��� ,&��& ,��� ������ �� �&� ����������� ,��

&��&�� �� �&� ���� � ������� ������$ �&� ������� ��

�&� �A��� ����� ,��� �� ���& �� �� ������� ,��& �&�

��������� �� � �&��� ���������� �A�� >#"@� � �A��

3�� ,��� ������� ,&�� &�� ������ ���� ���� ���

)����� ��������� �������� ���� ������ � ������+

�� �� �������� � ����� � 3��� � �&� ����� �� ��������

���������� ������� ����� ������� ����� �������

� ����������

() ����� �� ��� � ����� �������� ,&�� �� ��

�A���� �� �&� ������� � ���� ���� �� !55 & �� � &��&

����������� '#!# ��* �� &��& ������ � &�����

'#"":*� �&� ������ ������������� �� ���� &�� ����

,������ � ��������� �������� �&�� ������ �&� ()

����� �� �&���+����� ��������� ����� !55 &� �&�

������ ��������� �������� �� �&� ��������� �� ��9

�� �!9? �� ������ ��������� ���������� �� �&�

�������� �� ����������� �&��� ������ �� () ����� ���+

���� �� ��� � ������ ����� ��� ������ �&���������

������ ." ��� )������ ����&���� �� �&������ �������

������� �&�, ������� �� ������ ��������� ����� ?54 & ��

������� � ����� (� �������� �� �&� 3���� �� �������+

���� � ��� �&�� �&�,� �� ������� ����� ./0 & >4@� �&��

������ ����� �������� ������ �&�� ��=�������� ��

���������� ���������� ,&��& �� #1! & �� ������� � �����

�������� �������

��&��� ,��& �� �&��� �&� 9K )������������

�������� ��� �&� ��� ����� �� �������& ���������

�� ��������� ����������� �� D�� ������ E���������

�������� ��� ����,��� �&� ��� �� ��������� �=���+

�����

����������

>#@ �� D��� E� �������� �� 9&��� <�� ��������� �� ���������� ��

������������� ������� ��C 8��������� �� �&� %���� )�6G

%)�6 ����� �� 6��������� 8��������� <��� !� #11!�

��� //#�///�

>!@ � ������ E� ��B���� �� D��� E� �������� L�� �������� ��

������������� ��������� �� �G �!9?G � 3��� %� %��� (���� ����

.1 '##* '#11.* #"1!�##"!�

>?@ 6� 8&������� 8����� ������ �� ������ )���+)���� 6�������� #?

'#1/"* #?1#�#?11�

>4@ L� 9���� �� �&��+,��� �� �������� �� ������ ,��� ������

���&������ ��C 8��������� �� �&� I���� 9K )�����������

������������� ���&����� )�������� #111�

I��� 0� ������ �A�� ������������� �� ���� �� ��������� �� �

�������� �� �A������ ���� �� ������� ��

/! "(2( �� �� ��( 3 ������� ����� ��� �� 040 )/ /* �565�

Page 7: Corrosion study at Cu–Al interface in microelectronics packaging

>.@ L�L� 2������ ���������� �� ���� 8������� �� ����

;����� �� ����������������M�&� ���������� �� ���������

�� (�������� )������� (������������ )����� ��� 2���

����������������� D) � #151�

>0@ E� ���B�,�� E� I�-���� )� �������� �� ����� �� ����+

���� �� ������ ,��� ������ ����������� ���&������ (666

������ ������� 2��� ������ ���&���� #? '4* '#11"* /0!�

/0/�

>/@ N��� K����� �� �������� ��� ������� K�L� 8�����

9����������� �� ������ ,��� ������ �� ���� �������B������

(666 ������ ������� 2��� ������ ���&���� #5 '!* '#11.*

4!?�4!1�

>5@ ��%� ���������� ��<� ������� N� � ;��������� 6����� �� &���

��������� �� �&� �&��� �������& �� �������� ���� �� ������

,��� �&��������� ���� ���� �� ��#: )� � ��� �������B�+

����� (666 ������ ������� 2��� ������ ���&���� #? '?*

'#11"* .5/�.1#�

>1@ )� �&����� 2��� ;���� �������������� �� ���� ������

���� (666 ������ ������� 2��� ������ ���&���� #" '!*

'#15/* !.!�!./�

>#"@ 8��� 6����� �� �������� �� ;����� ��, ������� ���&����� ��

��� �� ��������� �� ������� ����������� (�O� ����

������������ &����� �� ���� ������� 8���� �� ??� (666

6��������� ����� ����� (666 '#15?* !4.�!.!�

>##@ �� E��&� �� ���&����� �&������� ��� ������� ���&������

��C 8��������� �� �&� !4�& ����� 8������ ����������

8&����� ����������� #150� ��� ..�0"�

>#!@ L�<� �����������&� 2�E� �&������ �&� ������ �� &��&

����������� ������������� ���,�& �� ���� �&���+�����

���������� (666 ������ ������� 2��� ������ ���&���� #?

'#* '#11"* #0/�#/.�

>#?@ %� L� ���� ��� ������&������ �����3������ �� ���������

������ �������� �� ���������� ����������� ��C 8���������

�� �&� )�O� �&�� ���������� �� 6��������� 8��������C

��������� �� 8�������� �� ��������� �� �����������������

)� (������������� D) � #15/� ��� 0?�/"�

>#4@ ���� ;�����&��� %�N� �������� ������ �� ���������

�������� �� �������� ���������� �������� ��C 8���������

�� �&� )�O� �&�� ���������� �� 6��������� 8��������C

��������� �� 8�������� �� ��������� �� �����������������

)� (������������� D) � #15/� ��� 4#�45�

>#.@ I��� %�&�� I�)� �������� 6�)� 8����� ��;� E�����&� ��C %�

�&������ '6�*� 2������ �� 7+�� 8&����������� )������+

����� 8����� 6����� 6�� 8������� #11!�

"(2( �� �� ��( 3 ������� ����� ��� �� 040 )/ /* �565� /?