BLUE ROSE画報 2016Blue Rose 横浜 希少な美しい品々を一点一点丁寧に記録したい、素晴らしさを皆様と共感したい想いからスタートしたBlue
CCTG110S - MIRAPRO...コールドカソードタフゲージCCTG（Cold Cathode Tough...
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コールドカソードタフゲージＣＣＴＧ（Cold Cathode Tough Gauge）はカソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった 電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました。 また、カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました。 今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます。 機 種 形 状 測定範囲 CCTG110S セパレートタイプ 1×10 Pa ～ 0.1 Pa 圧力単位 タフモード デガス インターフェイス 入力信号 出力信号 圧力信号出力 入力動作 接続フランジ ご注文型式 Pa，Torr，mbar 測定時カソード電極を通電加熱 （温度を 3 段階に設定可） カソードを約 700℃にフラッシュ加熱 RS232C、USB 表示器 (TGD100)、PC に接続可 測定開始／停止、デガス、タフモード ON/OFF セットポイント接点 ×2ch、アラーム接点 0 - 10V × 2ch AC85 ～ 240V 50/60Hz NW25、ICF70 NW25 ネオジム磁石：CCTG110S-NW25 ICF70 サマコバ磁石：CCTG110S-CF70 バイアス電圧 3kV ～ 500V 最適制御 シール部材質 バイトンシール（NW25） メタルＯリングシール（ICF70） C C T G の 概 念 図 最適 制御 回路 微小電流計 高圧電源 陰極(カソード)加 熱電源 陽極(アノード) 磁 界 陰極（ｶｿｰﾄﾞ） フ ッ 素 系 エ ッ チ ン グ ガ ス ( C F 4 + O 2 ) 中 で の 感 度 変 化 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 10 -5 10 -4 10 -3 0.01 0.1 1 10 C C T G A 社 冷 陰 極 （ 逆 マ グ ネ ト ロ ン ） B 社 冷 陰 極 （ ペ ニ ン グ ） 基 準 圧 力 計 3.2×10 -2 Pa 1.2×10 -3 Pa 1.4×10 -5 Pa 3.0×10 -2 Pa 1.7×10 -2 Pa 5.4×10 -5 Pa 1.0×10 -6 Pa 熱 陰 極 真 空 計 （ 5 日 後 に フ ィ ラ メ ン ト 切 れ ） 比 感 度 各 真 空 計 の 指 示 値 / 基 準 圧 力 計 時 間 ( 日 ) 比 感 度 （ 真 空 計 指 示 値 ／ 基 準 真 空 計 指 示 値 ） タフモード -8
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コールドカソードタフゲージＣＣＴＧ（Cold Cathode Tough Gauge）はカソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました。また、カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました。今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます。
機 種
形 状
測定範囲
CCTG110S
セパレートタイプ
1×10 Pa ～ 0.1 Pa
圧力単位
タフモード
デガス
インターフェイス
入力信号出力信号
圧力信号出力
入力動作
接続フランジ
ご注文型式
Pa，Torr，mbar
測定時カソード電極を通電加熱（温度を 3 段階に設定可）
カソードを約 700℃にフラッシュ加熱
RS232C、USB表示器 (TGD100)、PC に接続可
測定開始／停止、デガス、タフモード ON/OFF
セットポイント接点 ×2ch、アラーム接点
0 - 10V × 2ch
AC85 ～ 240V 50/60Hz
NW25、ICF70
NW25 ネオジム磁石：CCTG110S-NW25ICF70 サマコバ磁石：CCTG110S-CF70
バイアス電圧 3kV ～ 500V 最適制御
シール部材質バイトンシール（NW25）メタルＯリングシール（ICF70）
CCTGの概念図
最適制御回路
Si含浸SiC 陰極(カソード)
微小電流計
高圧電源
陰極(カソード)加熱電源
陽極(アノード)
磁界
陰極（ｶｿｰﾄﾞ）
フッ素系エッチングガス(CF4+O2)中での感度変化
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 10010-5
10-4
10-3
0.01
0.1
1
10CCTG
A社冷陰極（逆マグネトロン）
B社冷陰極（ペニング）
基準圧力計
3.2×10-2Pa
1.2×10-3Pa
1.4×10-5Pa
3.0×10-2Pa
1.7×10-2Pa
5.4×10-5Pa
1.0×10-6Pa熱陰極真空計（5日後にフィラメント切れ）
比感
度各
真空計
の指示値
/基
準圧力計
時間 (日)
比感
度（真
空計
指示値
／基
準真空
計指
示値
）
タフモード
-8
